판매용 중고 SEMITOOL 840 #9185719

제조사
SEMITOOL
모델
840
ID: 9185719
Automatic washing rotary dryer, 4" 2008 vintage.
세미툴 840 (SEMITOOL 840) 은 반도체 업계에서 가장 까다로운 응용프로그램을 만족시키도록 설계된 포토레시스트 (photoresist) 장비다. 그것 (rigid frame) 과 온도 조절 엔드 이펙터 (end-effector) 로 만들어졌으며, 넓은 표면 영역에서 포토 esist 또는 기타 화학 화합물의 편안하고 정확한 증착을 보장합니다. 840 년의 공정 챔버 (process chamber) 는 일정한 대기 압력과 온도로 유지되어 고급 제품 생산을위한 안정적인 환경을 만듭니다. 이 기기에는 회전하고 온도 조절 된 엔드 이펙터 (end-effector) 가 있으며, 재료는 미세하게 방전 될 수 있으며, 최대 100 리터의 반응물 또는 화합물 물질을 보유 할 수있는 공정 챔버 (process chamber) 가 있습니다. 이 시스템은 다양한 온도, 압력, 시간 프레임 (시간 프레임) 을 달성하도록 구성 될 수 있으며, 이를 통해 photoresist 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 최종 이펙터 (end-effector) 는 다른 기판에 대해 다양한 노즐 직경을 장착하고, 바람직한 증착 두께를 위해 기판에서 조절 가능한 간격을 제공합니다. 세미툴 840 (SEMITOOL 840) 에는 디지털 제어판이 있어, 작동 매개변수를 빠르게 조정하여 포토 esist의 증착을 최적화합니다. 또한 압력 및 프로세스 소모품에 대한 고정밀도, 반복 가능한 측정을 제공합니다. 이 장치에는 특허를 받은 열전대 기반 측정기 (thermocouple-based measurement machine) 가 장착되어 있어 운영자가 실시간으로 증착과정을 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 840은 광범위한 테스트를 받았으며, 정확한 증착 및 샘플 측정이 가능합니다. 이 제품은 광전물질 (photoresist) 과 다른 화합물을 빠른 속도와 정확도로 증착시키는 완벽한 솔루션으로, 생산 시간이 짧고 반도체 등급의 제품에 대한 품질이 우수합니다. 신뢰할 수 있는 운영 및 자동 (automated) 안전 기능을 통해 다양한 까다로운 어플리케이션에 적합합니다.
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