판매용 중고 SEMITOOL 840 #20068

SEMITOOL 840
제조사
SEMITOOL
모델
840
ID: 20068
SRD's.
SEMITOOL 840은 주로 반도체, MEMS 및 LED 응용 프로그램에 사용되는 Vision 플랫폼을 기반으로 제작 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최적화된 저비용 포토레스 장치 (photoresist unit) 를 사용하여 주기 시간 단축, 작동 비용 감소, 프로세스 균일성 향상 등을 수행합니다. 840은 포토 esist 처리 및 기타 표면 처리의 웨이퍼 응용을위한 정확하고, 반복 가능하고, 정확한 결과를 위해 설계되었습니다. 한 기판에서 다음 기판으로의 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeativility) 을 제공하여 사용자가 높은 수율을 달성할 수 있도록 하고 성능을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계는 포토레스 처리 (photoresist process) 의 정확한 측정 및 제어를 활용하여 프로세스 수율을 향상시키고 전체 비용을 절감합니다. SEMITOOL 840 도구는 비전 가이드 로봇 (Vision Guided Robotics), 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface), 운영 종합 소프트웨어 패키지 등 다양한 제어 시스템을 통합하는 Vision 플랫폼을 기반으로 합니다. Vision 플랫폼의 포괄적인 제어 및 진단 툴은 프로세스 성능과 생산성을 향상시킵니다. 정교한 분석 기능을 통해 사용자는 빠르고 쉽게 결과를 검토할 수 있습니다. 또한 840 자산은 고도로 영감을 얻은 관리 모델을 통해 프로세스의 모든 지점을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. SEMITOOL 840 관리 장비를 사용하면 각 Process Point 를 실시간으로 조정하면서 수율, 처리량, 처리량 기록을 추적할 수 있습니다. 840 은 다양한 수작업 및/또는 자동화된 프로세스를 제공하며, 이를 통해 특화된 프로세스를 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이러한 효과에는 정전, 라이트 온/라이트 오프, 다중 스핀, 카운터 회전 및 웨이퍼 스캔이 포함됩니다. SEMITOOL 840 (SEMITOOL 840) 은 빠른 레시피 변경을 위해 설계되었으며, 사용자가 소규모 또는 대규모 작업을 실행할 수 있습니다. 840 포토레시스트 (photoresist) 시스템은 모듈식 설계를 제공하여 사용자가 시스템을 확장하고 레이아웃을 특정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 또한 SEMITOOL 840 에는 다양한 구성 요소와 레이아웃 (layout) 이 포함되어 있어 기존 시설에 손쉽게 통합할 수 있습니다. 840 은 생산량 극대화, 처리량 증대 등 다양한 서비스를 제공하며, 예산만 유지하도록 지원합니다. 이 장치에는 반사 방지 다층 증착, 낮은 유전체 에치, 플라즈마 에치 및 증착과 같은 응용 옵션도 포함됩니다. 반도체, MEMS 및 LED 어플리케이션에는 다양한 기능, 비용 효율적인 운영, 통합 지원이 포함된 SEMITOOL 840이 탑재되어 있습니다.
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