판매용 중고 SEMITOOL 8300S #9160072
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ID: 9160072
Spin rinse dryer (SRD)
Capable of process up to 8"
High profile cassettes
Dual stack
Included:
Class 10 poly
Quick disconnect rotor
N2 rear seal.
SEMITOOL 8300S는 반도체 산업의 웨이퍼 처리 응용 분야를 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 정확한 포토 esist 스핀 코팅 및 후속 건조를 제공하며, 더 얇은 필름의 정확한 도량형 측정을 제공합니다. 이를 통해 광검출기 및 기타 구성 요소와 같은 정교한 광전자 장치를 생산할 수 있습니다. 전체 장치는 온도 제어 스핀 스테이션, 진공 제어 오븐, 우수한 비전 기반 이미징 서브 시스템 및 정교한 소프트웨어 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. SEMITOOL 8300 S는 고해상도 회전 및 정밀 속도 제어를 위해 원심 동작 드라이브와 저항 공기 베어링/턴테이블을 사용합니다. 고성능 진공 오븐은 균일 한 건조와 결정 성장 (crystal growth) 을 보장하여 스핀 패턴의 탁월한 균일성과 코팅 두께를 제공합니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 은 에칭 된 피쳐를 정확하게 감지하고 불균일성 또는 오염을 식별 할 수 있습니다. 또한 8300-S는 자동 제어 및 최적화 알고리즘을 갖춘 통합 소프트웨어를 통합합니다. 8300 S는 프로세스에서 높은 수준의 정확도, 정확성 및 유연성을 제공합니다. 정밀 스핀 코팅은 20 ~ 1800 rpm에 이르는 다양한 코팅 속도, 상당한 수준의 개선, 고속 압축기로 인한 진동 제어 향상 등 다양한 코팅 속도로 달성됩니다. 또한, 이 툴은 정확한 도량형 측정을 제공하여 제품 사양을 준수하고 높은 수율을 보장합니다. 유연성은 SEMITOOL 8300-S 의 핵심 기능이기도 하며, 이 기능은 사용자 지정 기능이 뛰어난 소프트웨어에 의해 활성화됩니다. 직관적 인 사용자 인터페이스는 작업을 단순화하며, 프로세스 및 레시피 설정을 쉽게 수정할 수 있습니다. 장애 감지 및 복구 기능을 통해 예상치 못한 이벤트가 신속하고 정확하게 처리됩니다. 요약하자면, 8300S는 반도체 산업 어플리케이션을 위한 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 저항력 베어링/턴테이블, 정밀 속도 제어, 우수한 비전 기반 이미징, 통합 소프트웨어 및 고밀도 도량형 측정으로 인해 고부피, 고품질 광전자 구성 요소 생산에 이상적인 선택입니다.
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