판매용 중고 SEMITOOL 8300S #9155196

SEMITOOL 8300S는 최첨단 포토 esist 처리에 사용되는 사진 촬영 장비입니다. 이 시스템은 고급 진공 (high-vacuum), 로우 백그라운드 (low-background) 및 멀티 빔 (multi-beam) 기술을 독점적으로 혼합하여 기판에 무제한의 복잡한 패턴을 패턴화하기 위해 정확하고 안정적이며 효율적인 프로세스를 제공합니다. 수직 장착 SEMITOOL 챔버, 고압 반사 건조기 및 멀티 빔 프로젝터를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 또한 얇은 선, 석판 요소 및 고해상도 기판을 패턴화하는 저에너지 가변 펄스파 (pulsed-wave) 기술을 갖추고 있습니다. 이 모든 것 은 직관적 인 "컨트롤러 '를 통하여 제어 되고 모니터링 되며, 이" 컨트롤러' 는 그래픽 사용자 인터페이스 를 갖추고 있다. 멀티 빔 포토 리토 그래피 도구는 425nm UV 파장에서 투사하며 크기가 최대 8인치 인 기질을 4.5Wm 피치 (pitch) 와 300WW/cm2에서 최대 40jm 피치로 노출 할 수 있습니다. 이렇게 하면 얇은 레이어, 초점 설정 (focus setting) 이 다른 이중 노출, 접촉 구멍 형성에 대한 저항 모양 정의, 사용자 정의 크기 레티클 등 고해상도 포토레지스트 (photoresist) 프로세스를 생성할 수 있습니다. 또한, 초점 깊이를 향상시키고, 처리 시간을 늘리고, 패턴 등록 (pattern registration) 을 개선하기 위한 씬 라인 (thin line) 과 요소의 특성을 유지할 수 있습니다. 초고 진공실은 -1 x 10-6 토르 (Torr) 의 기본 압력을 유지하지만 오염을 줄이는 데 도움이 되는 자동 터보 펌프 속도 제어 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 고정밀 (high-precision) 단계를 통해 고압 속도에서도 기판의 정확하고 반복 가능한 위치 지정 및 배치를 제공할 수 있습니다. 낮은 배경의 SEMITOOL 8300 S는 또한 업계 표준을 준수하고 오존을 안전하게 보호하는 무취의 친환경 프로세스를 갖추고 있습니다. 친환경적인 초고전압 소스를 사용하여 광 도구를 켭니다. 또한 경량 차폐 시트 (Light-Shielding Sheet) 는 가로등 입력을 방지하고 총 노출 시간을 늘리는 데 도움이됩니다. 전체적으로 8300-S는 photoresist 처리를 위해 효율적이고, 안정적이며, 고품질 솔루션입니다. 고급 설계 (Advanced Design) 와 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 쉽게 사용할 수 있으며 높은 수준의 정확성과 재현성을 유지할 수 있습니다. 그 결과, 반도체 제작, 의료 기기 생산, 생명 공학 및 제약 (pharma) 응용 분야에 널리 사용됩니다.