판매용 중고 SEMITOOL 8300S #9119732

SEMITOOL 8300S
제조사
SEMITOOL
모델
8300S
ID: 9119732
웨이퍼 크기: 8" and 12"
System, 8" and 12" PSC108 controllers included.
SEMITOOL 8300S Photoresist Equipment는 사진 해설을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 반도체 및 MEMS 산업에서 사용하도록 설계되었으며, 석판 제작 과정에서 포토 esist 처리를 제공합니다. 이 시스템은 온도 및 베이킹 (baking) 프로세스를 최적으로 제어하여 강력한 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 장치는 빠른 주기 시간과 최소 설치 공간으로 매우 효율적입니다. SEMITOOL 8300 S는 가열 된 진공 척, 자동 웨이퍼 전송 기계, 전용 x-ray 및 UV 조명 도구를 갖추고 있으며, 이를 통해 photoresist 처리가 복잡합니다. 또한 프로그램 가능한 대기 제어 자산 (Atmosphere Control Asset) 을 갖추고 있으며, 후속 얇아짐, 향상된 깊이 제어, 미립자 변동 최소화, 박막 스트레스 최소화 등 가장 광범위한 처리 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 사용자 친화적 인 터치스크린 제어가 적용된 마이크로프로세서 기반 컨트롤러도 포함되어 있어 모든 장비 기능을 효율적이고 안정적으로 제어할 수 있습니다 (영문). 또한 8300-S 에는 프로세스 모니터 (Process Monitor) 가 포함되어 있으며, 모든 프로세스에 대한 실시간/장기 모니터링과 시스템 로깅 장치 (System Logging Unit) 를 제공하므로 각 프로세스 동안 수집된 데이터를 정확하게 기록, 분석 및 보고할 수 있습니다. 또한 여러 레시피 스토리지 기능을 갖추고 있으며, 최대 32 개의 레시피를 저장, 회수할 수 있으며, 최고 수준의 정결 및 반복 가능한 프로세스를 보장하는 자동 (Autoclean) 작업을 제공합니다. 이 기계의 성능은 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 압력, 온도 및 기타 주요 매개변수를 모니터링하여 안전하고 안정적인 작동을 보장합니다. 이 툴은 설치 작업을 손쉽게 수행할 수 있도록 설계되었으며, 설치 공간을 최소화하며, 운영자가 원하는 방식으로 다용도와 유연성을 확보할 수 있도록 합니다 (영문). 전반적으로 8300S Photoresist Asset은 고급적이고 신뢰할 수있는 리소그래피 모델로, 효율적이고 안정적인 포토리스 처리 기능을 제공하여 반도체 및 MEMS 산업에 적합합니다.
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