판매용 중고 SEMITOOL 8300S #84828
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ID: 84828
웨이퍼 크기: up to 12"
Spin Rinse Dryer, up to 12"
(101) Digital controllers
Polypropylene cabinet
Low profile Entegris 12" cassette
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Electropolished bowls
Labyrinth seal design
(4) Bolts or QD rotor design
CY-20 Static eliminator
(2) Rotors.
SEMITOOLS ® SEMITOOL 8300S는 포토 esist 재료의 증착을 단순화하고 최적화하도록 설계된 photoresist 응용 프로그램 시스템입니다. 다중 챔버, 플랫폼 기반 도구로, 여러 응용 프로그램 챔버, 기판 스테이징 영역 및 기판 클리너를 포함합니다. 이 시스템은 자동, 컴퓨터 제어, 로봇 장치를 사용하여 다른 챔버 사이에서 기판을 이동합니다. 이 챔버 내부에서, 기질을 포토 esist, 방적, 제빵, 냉각에 노출시키는 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템에는 장기적이고 일관된 애플리케이션 결과를 위한 솔루션 동요 (agitation) 및 재순환 기능도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 8300 S 는 저용량 및 대용량 작업을 모두 수행할 수 있도록 설계되었으며, 사용자가 처리량을 제어합니다. 청정실 (Clean Room) 등급은 환경에 따라 100 등급 이상이며 폐기물을 줄이고 운영자 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 건조 (dry) 와 습식 (wet) 저항제 (resist) 응용 프로그램 모두에 사용될 수 있으므로 많은 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 전반적으로 8300-S는 포토 esist 응용 프로그램을 위해 강력하고 효율적인 도구입니다. 다양한 제품 볼륨 (production volume) 과 견고한 설계 (design) 를 수용할 수 있어 안정적이고 비용 효율적인 솔루션이 될 수 있습니다. 또한 견고한 설계를 통해 오랜 작업 수명에 걸쳐 안정적인 성능을 보장하며, 유지 관리 및 오버헤드 (overhead) 비용을 절감할 수 있습니다. 8300 S의 경우, 포토 esist를 빠르고 정확하게 적용 할 수 있으므로 일관된 마무리 및 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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