판매용 중고 SEMITOOL 8300S #293755283

세미 툴 8300S (SEMITOOL 8300S) 는 다양한 기판에 정확한 에칭 및 증착 결과를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 처리 장비입니다. 또한 고급 프로세스 제어를 통해 고품질의 결과를 얻을 수 있으며, 모든 배치에 일관된 프로세스 시간을 제공합니다. SEMITOOL 8300 S 머신은 지능형 배치 모니터링을 통해 빠르고 정확한 결과를 지원합니다. 이 시스템에는 스핀 (spin), 스프레이 (spray), 서기관 (scribe) 및 공압 응용 프로그램 등 다양한 유형의 작업을 처리하는 여러 가지 도구가 있습니다. 8300-S에는 공정 시간, 정밀한 에치 제어 (etch control) 및 다양한 기판 응용 프로그램을 수용하는 광범위한 에칭 설정을 제공하는 완전 자동화 된 레이저 변조 식각 장치 (fully automated laser modulated etching unit) 가 장착되어 있습니다. 챔버는 최대 10 개의 풀 존 로드를 수용 할 수 있습니다. 펄스 플라즈마 소스는 에칭 결과를 개선하기 위해 유기, 비금속 오염 물질을 제거하며, 단일 영역, 트리플 존 (triple-zone) 또는 다중 구역 스핀 공정으로 포토 esist 코팅이 쉽게 달성됩니다. 이 기계는 또한 박막 층과 동종 코팅을 증착하도록 설계된 4 존 스프레이 코터 (4-zone spray coater) 와 각 재료 유형에 대한 정확한 에칭 매개변수를 제공하는 5 존 스크리버 (5-zone scriber) 를 갖추고 있습니다. 8300 S에는 공정 후 청소 및 스퍼터블 레이어 증착 용 공압 주행장도 포함되어 있습니다. 모든 독립 프로세스 도구에는 내장 가스 선택 밸브와 공정 제어 매개변수가 장착되어 있습니다. 전체적으로, SEMITOOL 8300-S는 웨이퍼, 기판 및 기타 섬세한 부품을 포함하여 다양한 기판에 걸쳐 정확한 에칭, 증착 및 청소 기능을 제공하는 고급 포토 esist 처리 도구입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 및 다중 도구 (multiple tools) 는 최적의 성능과 결과를 제공하여 대용량 포토레지스트 프로세싱과 저용량 포토레시스트 프로세싱 모두에 이상적인 선택입니다.