판매용 중고 SEMITOOL 8300 #84827

SEMITOOL 8300
제조사
SEMITOOL
모델
8300
ID: 84827
웨이퍼 크기: 8"
Spin Rinse Dryer, up to 8" 102 Controllers, Digital programmable controller 8300 8” high profile Chamber Non-contact labyrinth N2 Seal NB owl with RA10 finish Brushless Motor with LC-4 Motor Controller Static Eliminator Assembly Color coded pneumatic tubing Rotor Quick Disconnect , Built to customer provided carrier, 2" to 8" Polypropylene cabinet “Aero Style” Gaskets, orings, tubing, seals Vibration dampeners Complete Documentation Package Particle counts < 25 at .3 micron 17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 8300 포토 esist 장비는 기판에 마이크로 사이즈 구조를 만드는 데 사용되는 포괄적 인 정렬 및 리소그래피 솔루션입니다. 고급 반도체 소자 제조 공정 및 전자 재료 연구에 적합합니다. 여기에는 기판을 정확하게 정렬하고 마이크로 구조화를 위해 준비하는 두 가지 장비 (스테퍼 (Stepper) 와 코터/개발자 (Coater/Developer)) 가 포함됩니다. 스테퍼 (Stepper) 는 정밀하고 정확하게 기판을 스캔하도록 설계된 광학 스캐닝 시스템입니다. 스테퍼는 다양한 기능을 활용하여 스테인리스 스틸 프레임 (stainless steel frame), 인덱스 플레이트 (indexed plate) 및 디지털 카메라 (digital camera) 와 같은 매우 정확한 정렬 장치를 제공합니다. 5 "미크론 '이하 의 특징 을 정확 히 상상 할 수 있으며, 재빨리 기판 을 맞추는" 스캔' 속도 가 매우 빠르다. 코터/개발자 (Coater/Developer) 는 기판에 광 소제를 적용하여 미세 구조를 생성 할 수 있습니다. 코터/개발자에는 코터와 개발자의 두 가지 주요 부품이 있습니다. "코우터 '는 광물질 의 균일 한" 필름' 을 기판 에 적용 하는 데 사용 된다. 그것 은 "응용 프로그램 '을 정확 하고 균일 하게 제어 할 수 있는 공압" 노즐' 로 이루어져 있다. 개발자에는 기질에서 포토 esist를 제거하는 데 도움이되는 MBI (Mixed-Bed Ionic Solutions) 가 포함되어 있습니다. 또한 8300 에는 자동 인덱서, 자동 초점 단계, 온도 조절 시스템, 다중 계층 검출기 시스템 등 다양한 성능 향상 액세서리가 포함되어 있습니다. 이 모든 "액세서리 '들 은 기계 로부터의 정확도 와 성능 을 향상 시킨다. 이 도구에는 프로세스 생산성 및 제품 품질 (예: 다크 필드 이미징 (Dark Field Imaging) 기술 활용 기능, 고급 에지 찾기 기능) 을 향상시키기 위해 설계된 여러 가지 다른 기능도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 8300 photoresist 자산은 안정적이고, 다재다능하며, 현대적인 리소그래피 솔루션으로, 마이크로 구조화 응용 프로그램에 적합합니다. 첨단 기능은 높은 정확도와 정밀도 (precision process) 를 제공하는 반면, 다양한 성능 향상 옵션도 제공합니다. 이 포괄적인 유형의 리소그래피 (lithography) 모델은 신뢰할 수 있는 결과를 달성하고 높은 수율의 시스템을 생산하기 위해 필요합니다.
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