판매용 중고 SEMITOOL 655W #9301219

SEMITOOL 655W
제조사
SEMITOOL
모델
655W
ID: 9301219
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 655W는 습식 화학, 무전기식 도금 및 뒷면 공정을 위해 설계된 Photoresist 장비입니다. 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 반자동, 멀티 스테이지 시스템입니다. 이 장치는 대부분의 고급 포토 esist 및 독점 뒷면 처리 화학 물질과 호환됩니다. 즉, 고급 제어 및 정밀 자동화 기술을 통해 수동 프로세스보다 뛰어난 일관성과 안정성을 제공합니다. 655W는 클로즈드 루프 습식 처리 및 워터 링 동요 기술을 통해 균일성을 향상시킵니다. 기계는 효과적인 필름 스트리핑 및 웨이퍼 린싱을 위해 가변 스프레이 패턴으로 작동합니다. 고급 스프레이 린스 린스주기는 잔기를 제거합니다. 자동 분배 도구 (Automated Dispense Tool) 는 정확한 화학적 혼합비를 위해 정확한 체적 측정 및 전달을 사용합니다. 이 자산은 통합 이미지 처리를 갖춘 고급 노치 파인더 기술도 갖추고 있습니다. 이 모델은 처리량이 많은 작업을 위해 설계되었으며, 다른 OEM 컴포넌트나 독립형 프로세스와 쉽게 통합됩니다. 이 작업은 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스로 작동하며, 포괄적인 사용자 정의 프로세스 프로토콜과 함께 제공됩니다. 통합 소프트웨어 제품군을 사용하면 레시피 최적화 및 프로그램 개발을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 프로세스 내 품질 제어에 대한 자동 경보 및 경고가 특징입니다. 통합 도구는 외부 데이터베이스, LIMS 및 엔터프라이즈급 시스템에 대한 연결을 제공합니다. 전반적으로 SEMITOOL 655W는 대용량 습식 화학, 무전기식 도금 및 뒷면 처리를 위해 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 고급 제어 및 정밀 자동화 기술을 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 대부분의 포토리스트 (photoresist) 에게 적응력은이 시스템을 사용하면 빠른 처리 주기와 쉬운 레시피 최적화가 가능합니다. 워터 링 동요, 사용자 친화적 인 그래픽, 소프트웨어 제품군, 노치 파인더 (notch-finder) 및 수동 프로세스 경보 (manual process alarm) 와 같은 고급 기능을 사용하면 모든 포토레시스트 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다.
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