판매용 중고 SEMITOOL 480S #9105286

SEMITOOL 480S (SEMITOOL 480S) 는 반도체 장치 제작에서 코트 및 개발 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 플라즈마 에칭 (plasma etching), 화학 기계 연마 (chemical-mechanical polishing) 와 같은 다른 공정에서 생성 된 것을 포함하여 환경 오염 물질에 대한 높은 내성을 가진 생산 환경에 사용하도록 설계되었습니다. "와퍼 '에 정확 하고 균일 한 저항" 코우팅' 과 개발 을 하는 완전 한 자동화 장치 이다. 웨이퍼 표면을 가로 질러 우월한 커버리지를 위해 조정 가능한 웨이퍼 플로트 높이 (wafer float height) 가있는 얕은 탱크 욕조가 특징입니다. 현장 모니터는 균일 한 저항 분배 및 두께를 보장합니다. 자동 레벨 링 장치는 에지 비드 커버리지를 보장하고 에지 빌드 업을 방지합니다. 이 기계는 또한 화학적 오버라이드 감소를위한 스마트 화학 전달 (smart chemical delivery) 을 특징으로하며 스프레이 전달은 균일성을 향상시킵니다. 완전 자동, 자동 작동을 위한 고급 온보드 PLC를 사용하면 작동이 쉽고 안정적입니다. 480S는 최첨단 Dry-in-place 프로세스 도구를 사용하여 빠른 주기 시간을 제공합니다. 여기에는 온도 조절 공기를 사용하여 건조 전 공기 가속화, 최대 균일성 및 향상된 저항 접착을위한 자외선 에너지 커튼, 빠른 맥박 저항 노출 자산 (Quick-Pulse Resist Exposure Asset) 을 사용하는 최적화 된 저항 사전 건조 도구가 포함됩니다. 또한 SEMITOOL 480S 에는 화학적 예금 (Chemical Deposit) 의 챔버 (Chamber) 를 지우는 자동 정리 루틴이 포함되어 있어 비용과 시간이 모두 절약됩니다. 또한 HMI 메뉴를 탐색하여 프로세스 스케줄링 및 모니터링을 효율적으로 수행할 수 있습니다 (영문). 마지막으로, 이 모델은 진단, 수리, 지원, 종합적인 설치/운영 교육 등 포괄적인 서비스 패키지로 지원됩니다. 요약하면, 480S는 반도체 장치 제조업체에 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 장비를 제공합니다. 자동 (automated) 기능, 효율적인 프로세스 툴, 강력한 지원이 결합되어 있어 운영 환경에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.