판매용 중고 SEMITOOL 480S #9021897
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ID: 9021897
Spin Rinser Dryer (SRD)
101 controllers, digital
Polypropylene cabinet
Up to 8" process capability
Brushless motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Labyrinth seal design
220 V ready system (transformer included)
QD rotor design
Options included:
Static eliminator
DI resistivity probes
(1) QD rotor (8") - low profile cassette only.
SEMITOOL 480S Photoresist Equipment는 석판 공정을 위해 특별히 설계된 고급 습식 에칭, 코팅 및 청소 시스템입니다. 저용량 애플리케이션과 대용량 애플리케이션 모두에 적합한 솔루션입니다. 이 제품은 대용량 컬러 LCD 터치 패널을 탑재하여 빠르고 간편한 프로그래밍과 간편한 사용자 친화적 (user-friendly) 작업을 지원합니다. 또한 고급 동작 컨트롤을 특징으로하여 기판 처리를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 480S Photoresist Unit은 두 개의 모듈식 부품으로 구성됩니다. 첫 번째 부분 은 습지대 인데, 20 "센티미터 '크기 의 기판 을 처리 할 수 있다. 여기에는 포토 esist 및 개발자 솔루션을위한 화학 저수지와 기질 처리를위한 진공 노즐 (vacuum nozzle) 이 포함됩니다. 습지대에는 섭씨 10도 (50 ° F) ~ 섭씨 400도 (750 ° F) 범위의 고해상도 디지털 온도 조절도 포함됩니다. 습지는 부식에 강하며 섭씨 90도 (200 ° F) 의 온도에서 작동하도록 설계되었습니다. SEMITOOL 480S Photoresist Machine의 두 번째 부분은 Spincoater입니다. 최대 20 센티미터 (8 인치) 크기의 기질에 포토 esist 물질의 균일 한 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. 기판 회전을위한 가변 속도 모터 (variable speed motor) 와 스핀 속도 (spin speed) 및 총 시간 (total time) 용 디지털 디스플레이가 있습니다. 또한 스핀코터 (Spincoater) 에는 자동 타이밍 기능이 있어 기판 크기에 따라 시간을 자동으로 조정합니다. 480S Photoresist Tool은 정확하고 정확하도록 설계되었습니다. 모서리 탐지 기능 (edge-detection feature) 이 포함되어 있어 기판이 올바른 위치에 설정되어 있는지 확인합니다. 이 기능은 수동 정렬 (manual alignation) 의 필요성을 없애고 부정확한 결과를 크게 줄일 수 있습니다. SEMITOOL 480S Photoresist Asset은 정확하고 신뢰할 수있는 습식 에칭, 코팅 및 청소가 필요한 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 최대 20 cm (8 인치) 크기의 기판을 처리 할 수 있으며 고급 모션 컨트롤, 부식 방지 디자인, 가변 속도 회전 및 자동 타이머 기능을 갖추고 있습니다. 간편한 사용자 친화적 디자인과 기능을 갖춘 480S 는 lithography 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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