판매용 중고 SEMITOOL 480S #135528

SEMITOOL 480 S는 반도체 제조 공정 내에서 단일 웨이퍼 습식 처리 시스템 작업을 수행하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 반도체 웨이퍼에 포토 esist 레이어를 청소, 에칭, 스트리핑 및 건조하기위한 독점적, 종단간 자동화 솔루션이 특징입니다. 480 S는 각 배치에서 최대 16 개의 웨이퍼를 정확하고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 하향식 기계식 로봇 주사기를 사용하여 소량의 포토 esist 유체를 웨이퍼 표면에 분배합니다. 이것은 액체 폐기물을 최소화하고 프로세스 균일성을 최대화하는 환경 친화적 인 단위입니다. 이 기계는 또한 조정 가능한 디스펜스 밸브 (Dispense Valve) 를 특징으로하여 웨이퍼 표면을 가로 질러 포토 esist의 최적 및 일관된 디스펜스 투여를 보장합니다. "포토레지스트 '도구 는 또한 특수" 스프레이 매니폴드' 와 "노즐 '조합 을 사용 하여 액체 의 효율적 이고 균일 한 분포 를 제공 한다. 그 결과 "웨이퍼 '를 가로지르는 광전물질 의 균일성 이 우수 해지고 더 큰" 다이' 부위 에 침착 할 때 광전물질 의 낭비 를 피하게 된다. 세미 툴 480 S (SEMITOOL 480 S) 는 웨이퍼 표면에 적용되는 특수 스크러빙 동작을 사용하여 웨이퍼 당 결함 수를 줄입니다. 또한, 원형 "플랫폼 '은 포토레시스트' 를 적용 하는 동안" 웨이퍼 '가 계속 회전 하여 "웨이퍼' 를 가로지르는 고른" 코우팅 '이 된다. 이 자산에는 또한 전체 포토 esist 적용 과정 동안 웨이퍼 온도를 측정하는 일련의 전용 히터 (heater) 와 온도 (thermocouple) 가 있습니다. 이 모니터링 (monitor) 은 웨이퍼가 일관된 온도로 유지되며, 이는 photoresist 레이어의 더 높은 수율과 더 나은 품질을 초래합니다. 마지막으로, 480 S (automated drying algorithm) 는 모든 포토 esist가 웨이퍼에서 제거되도록 자동화 된 건조 알고리즘을 특징으로하며, 깨끗하고 고해상도 표면 마무리를 유지합니다. 건조 공정은 표면 잔류 물 또는 미립자를 제거하고, 기본 포토 esist 층에 대한 손상을 피한다.