판매용 중고 SEMITOOL 480 #9105787

SEMITOOL 480
제조사
SEMITOOL
모델
480
ID: 9105787
Spin Rinse Dryers (SRDs) PSC101 controller.
SEMITOOL 480 (SEMITOOL 480) 은 다양한 웨이퍼 및 기판 프로세스에 최적의 코팅 성능을 제공하도록 설계된 고성능 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 독특한 듀얼 쇼어 헤드 (Dual-Showerhead) 코드헤드 설계를 통해 광범위한 어플리케이션을 위한 탁월한 균일성과 일관성을 제공합니다. 고정밀 MCA (multi-chamber application) 장치는 각 프로세스 단계에 필요한 개발자, 저항 및 에찬트의 정확한 농도를 제공합니다. 또한 최적화된 PWB (Programmable Wall Bias) 제어 모듈은 대용량 생산을 위해 프로그래밍 가능한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 기계에는 최첨단 프로세스 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 여기에는 직관적인 터치스크린 메뉴와 전체 프로세스 제어를 위한 시나리오를 사용하는 SEMITOOL 4340 컨트롤러가 포함됩니다. 피드백 제어 루프 (feedback control loop) 뿐만 아니라 프로세스 매개변수를 쉽게 설정하고 수정할 수 있습니다. 또한 높이 측정 센서 (height measurement sensor) 를 사용하여 임계 또는 온도에 민감한 응용 프로그램의 정확도를 높일 수 있습니다. 480 자산은 안정성이 높으며, 모듈식 (modular) 설계를 통해 일상적인 유지 보수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 웨이퍼 크기에서 직경 30 인치까지 6 개의 챔버 응용 프로그램이있는 2 개의 랙으로 제공됩니다. 이 모델은 또한 탁월한 환경 호환성을 제공하며, 모든 응용 프로그램에 적합한 광범위한 프로세스 관련 자료를 제공합니다. 이 장비에는 액티브 (Active) 및 패시브 (Passive) ESD 보호를 포함한 다양한 전원 보호 기능이 장착되어 있습니다. 또한, SEMITOOL 480에는 기판 및 프로세스 변경에 대한 신속한 식별을 제공하기 위해 설계된 고급 광학 인식 시스템 (Optical Recognition System) 이 있습니다. 이 장치는 1 초 이내에 기판 유형 및 패턴 단계를 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 Cleanroom ISO-5 및 US-EPA 표준을 지원하도록 설계되었으며 RoHS 및 비 RoHS 응용 프로그램에 대해 지정할 수 있습니다. 480은 고급 포토 esist 코팅 프로세스를 위한 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다. 대용량 운영/프로세스 일관성을 위한 탁월한 성능을 제공하며, 안전하고 친환경적인 툴을 제공합니다. 견고한 디자인과 직관적인 프로세스 제어 기능을 갖춘 SEMITOOL 480은 오늘날의 포토리스 (photoresist) 코팅 프로세스에 대한 최대의 정확성과 신뢰성을 보장합니다.
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