판매용 중고 SEMITOOL 480 #78272
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ID: 78272
F-Style Spin rinser dryer, bench top with rotor
Accommodates up to 8” low profile
101 Controllers, Digital
Ferrofluidic Rear Bowl Shaft Seal
Electropolished bowl
Polypropylene Cabinet Aero Style
Electropolished Bowl
1/2 HP Direct Drive Motor
Rotor to accommodate low profile 8” A192-81M
Static Eliminator
Resistivity
Complete Documentation Package
Guaranteed Particle counts < 25 at .5 micron
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
SEMITOOL 480 Photoresist Equipment는 처리량이 많은 사진 해설을위한 품질 솔루션입니다. 이 시스템은 인쇄 회로 기판 (printed circuit board), 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 및 유사한 정밀 전자 장치 제조를 위해 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 포토 esist 트랙 및 스피너 머신, 카트리지 기반 화학 전달 및 480 컨트롤러의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 포토레스 트랙 (photoresist track) 과 스피너 도구 (spinner tool) 는이 자산의 기본 구성 요소이며 일련의 스피너 모듈과 회전하는 모터가있는 트랙으로 구성됩니다. 이 모델은 컷 로드 (cut-loading) 프로세스에 따라 설계되어 처리량이 많고 처리 시간이 짧습니다. 스피너 모듈은 회전 모터 (spinning motor) 에 의해 구동되며, 포토 esist 트랙의 정확한 반복 가능한 움직임을 보장하기 위해 교정 및 조정됩니다. 이 "트랙 '에는" 센서' 가 장착 되어 있어 광물질 과 기판 의 "타이밍 '과 위치 를 탐지 하여 반복 가능 한 과정 을 유지 하고 있다. 수직 캐스터 (Vertical Caster) 메커니즘이 트랙 끝에 배치되어 기판을 장비에서 쉽게 적재, 언로드할 수 있습니다. 화학적 전달 시스템은 계량 장치를 갖춘 카트리지 기반 화학 모듈 (cartridge-based chemistry module) 로 구성되며, 화학 물질과 공정 환경 사이에 제한된 접촉을 제공하도록 설계되었습니다. 이것 은 "모듈 '에 남아 있는 나머지 화학 물질 이 기질 이나" 트랙' 단위 를 교차 시키지 않게 한다. 카트리지는 용매 폐기물 감소, 빠른 화학 변화 보장, 유지 보수 비용 최소화를 위해 상호 교환 가능합니다. 이 모듈에는 오버필 감지, 흐름 제어, 센서 모니터링 등의 안전 기능도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 480 Controller는 사용자가 전체 프로세스를 원격으로 제어하고 모니터링할 수 있도록 설계되었습니다. 이 컨트롤러에는 레시피 동기화 (Recipe Synchronization) 및 다중 머신 작업 (Multi-Machine Operation) 과 같은 고급 기능이 장착되어 있어 사용자에게 전체 프로세스 제어를 제공합니다. 또한 컨트롤러는 원격 진단을 허용하며, 운영자에게 오류 메시지를 제공합니다. 480 포토레시스트 도구 (Photoresist Tool) 는 반복성과 유연성의 최적의 조화를 제공하도록 설계되었으며, 이는 생산 품질과 생산량을 높이려는 제조업체에 적합한 솔루션입니다.
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