판매용 중고 SEMITOOL 480 #78270

SEMITOOL 480 Photoresist Equipment는 빠른 속도, 반복 가능성 및 정확도로 포토레스 패턴 (photoresist pattern) 을 전체 웨이퍼 처리 및 제거하는 자동화 된 시스템입니다. 이 장치는 프런트엔드 로드 로봇을 사용하여 Pre-Clean Station, Hot Plate, Track and Developer Station 및 Unload Station 간에 웨이퍼를 전송합니다. 사전 청소 스테이션 (Pre-clean Station) 은 기존 잔기를 제거하고 저항 애플리케이션에 이상적인 시작점을 제공하기 위해 웨이퍼 서피스를 청소하도록 설계되었습니다. 핫 플레이트 (Hot Plate) 는 프리 베이크 및 포스트 베이크 프로세스 동안 웨이퍼를 가로 질러 짝수 온도를 제공하며 저항 패턴을 노출시킵니다. 트랙 모듈 (Track Module) 에는 플래터 속도, 노즐 크기 및 필름 두께를 웨이퍼 단위로 조정하는 고급 마이크로 프로세서 기반 머신이 장착되어 있습니다. 개발자 스테이션 (Developer Station) 에는 최적화된 스피너 및 다방향 스프레이 노즐이 장착되어 저항 패턴을 빠르고 정확하게 개발할 수 있습니다. 언로드 스테이션 (Unload Station) 은 베이킹 및 트랙 프로세스 후 웨이퍼를 정확하게 배치하기 위해 설계되었습니다. 이 도구는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리하고 최대 1mm 두께의 테이프를 처리하도록 설계되었습니다. 탁월한 정렬 반복성, 코너 정확성, 그리고 최대 일관성을 지닌 기타 중요한 매개변수를 제공합니다. 또한 480 은 프로그래밍과 유지 관리가 용이하며, 장애 발생 시 장애 복구 (fault recovery) 자산을 제공합니다. 이 모델은 반도체 장치 어플리케이션에 적합하며, 최대 수율과 비용 효율을 보장하도록 설계되었습니다.