판매용 중고 SEMITOOL 470S #9209038

SEMITOOL 470S는 정밀 박막 코팅을 위해 설계된 자동 포토 esist 장비입니다. 여기에는 저항 디스펜서, 기판 단계, 진공 시스템 및 통제 환경이 포함됩니다. 디스펜서는 다중 저항 레시피를 정확하게 제어하여 정확한 반복 성을 허용 할 수 있습니다. 이 디스펜서는 액체 (liquid) 와 고체 (solid) 포토 esist 재료를 모두 수용하여 유연성을 제공하고 박막 공정을 사용자 정의할 수 있습니다. "디스펜서 '는 또한" 펌프' 와 "믹싱 '장치 를 갖추고 있어서 저항제 를 균일 하게 적용 시킨다. 기판 단계 (substrate stage) 는 배치 할 기판 재료의 평평한 영역을 제공합니다. 이 단계는 최대 4x4 인치의 다양한 크기의 기판을 수용하도록 설계되었습니다. 또한 온도 또는 냉각 플랫폼으로 구성하여 박막 프로세스 (thin-film process) 동안 온도 조절을 허용합니다. 진공기에는 진공실 및 조절 가능한 압력 설정이 포함됩니다. 이 로 말미암아 기판 에 대한 "커어버 '를 저항 할 수 있게 되며, 동시 에 기판 에서 원치 않는" 버블' 이나 먼지 입자 를 제거 할 수 있다. 마지막으로, SEMITOOL 470 S 내에 포함 된 제어 환경은 먼지, 습도와 같은 외부 오염 물질에 대한 원치 않는 노출을 줄입니다. 이것은 반복적이고 신뢰할 수있는 박막 프로세스를 만드는 데 도움이됩니다. 요약하면, 470S는 정밀 박막 공정을 위해 설계된 자동 포토리스 도구입니다. 그것 은 여러 "레지스트 '조리법 을 정밀 히 제어 하고, 다양 한 크기 의 기질 을 수용 하고, 진공 자산 을 제공 하여" 커어버' 까지 보장 하고, 외부 오염 물질 을 방지 하는 청결 한 환경 을 유지 한다.