판매용 중고 SEMITOOL 470S #9209035

SEMITOOL 470S는 반도체 제작 공정을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 습식 청소, 개발, 에칭 및 포토레시스트 스트리핑 프로세스 중 고성능 (HPP) 을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템에서 사용자는 반복 가능한 프로세스와 탁월한 처리 제어 (processing control) 기능을 제공하여 nanofabrication 워크플로우를 일관되게 수행할 수 있습니다. SEMITOOL 470 S는 다양한 소규모 에치, 증착, 저항 스핀 및 도량형 프로세스를 지원할 수있는 짧은 개방형 공정 챔버가있는 단일 챔버 수직 유닛입니다. 이를 통해 습식 클리닝, 개발, 에칭 및 포토레지스트 스트리핑을 활용하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 내부 프로세스 챔버 (process chamber) 를 사용하면 프로세스 변경을 신속하고 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 독점 EasyClear 디지털 비전 센서 패키지를 특징으로하며, 작동 중에 기판의 로드 및 언로드를 제어할 수 있습니다. 또한 로드/언로드 스테이션 (Load/Unload Station) 에는 수동 접촉 없이 기판을 로드하고 언로드할 수 있는 반도체 기술이 내장되어 있어 오염 위험이 없습니다. 이 도구에는 기판 온도, 압력, 습도, 프로세스 추세 등 중요한 매개변수를 검색할 수 있는 자동 모니터 (automated monitor) 에셋이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 Photoresist 모델이 지속적으로 제어되고 프로세스 매개변수의 사전 예방적 재조정 (Proactive Rejustment) 을 통해 특정 응용 프로그램에 대한 최상의 작업 조건을 보장할 수 있습니다. 470S Photoresist 장비는 또한 지능형 에너지 절약 및 환경 보호 조치 (예: 에너지 효율 난방 시스템, 비활성 가스 퍼지 처리) 를 갖추고 있습니다. 즉, 이러한 조치를 통해 사용자는 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 장치를 사용할 수 있습니다. 또한, 기계의 모든 구성 요소는 가장 높은 순도 (purity) 프로세스 조건과 강력한 장기 신뢰성을 제공하기 위해 고품질 (high quality) 표준으로 제작되었습니다. 다양한 액세서리를 사용하여 470 S Photoresist 도구를 구성하여 최상의 처리 결과를 얻을 수 있습니다.