판매용 중고 SEMITOOL 470S #293658254

SEMITOOL 470S는 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 Photoresist 장비입니다. 강력한 프로세스 컨트롤과 결합 된 전통적인 리소그래피 인덱서의 특징을 가지고 있습니다. 이 시스템은 광범위한 어플리케이션에서 반도체 장치 처리를 최적화하도록 설계되었습니다. SEMITOOL 470 S는 기판 처리 챔버, 여러 프로세스 모듈 및 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스로 구성됩니다. 기판 처리 챔버는 효율적인 웨이퍼 로드 및 언로드를 위해 설계되었습니다. 대용량, 대형 웨이퍼 스테이징 영역 (wafer staging area) 을 통해 챔버 전체에 빠른 로드 및 언로드, 균등하게 분산 된 진공이 가능합니다. 470S의 통합 된 다중 프로세스 모듈은 리소그래피 및 저항 개발 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 장치의 기능에는 고급 스테퍼 컨트롤러, 이중 인덱싱, 반복 가능한 오버레이 추적 및 특허 사전 정렬 (pre-aligner) 이 포함됩니다. 스테퍼 (stepper) 컨트롤러는 선형 (linear) 과 회전 (rotary) 동작을 독립적으로 제어하여 패턴 응용 프로그램의 최대 정확도를 제공합니다. 이중 인덱싱 머신 (dual indexing machine) 은 패턴 슬릿 및 스텝 필드로 기판을 반복적으로 정렬하고, 사전 정렬기는 웨이퍼를 완벽하게 등록합니다. 470 S는 또한 디스펜스 노즐 로딩 도구 (dispense nozzle loading tool) 와 저항 스트립 챔버 (resist strip chamber) 를 사용하여 개발 기능에 저항하며, 둘 다 오염이없는 처리를 위해 외부 환경에서 밀봉됩니다. 에셋의 별도의 저항층 (resist layer) 응용 챔버 (application chamber) 는 광범위한 포토 esist를 수용하여 프로세스 다용성을 허용합니다. SEMITOOL 470S의 사용자 인터페이스는 운영 작업을 단순화하고 신속하게 수행할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 이 모델은 직관적인 아이콘 (icon) 이 있는 터치스크린 인터페이스를 사용하여 탐색 및 탐색 프로세스를 쉽게 수행할 수 있습니다. 통합 툴 (Integrated Tools) 은 상세한 제품 분석을 위해 설계되었으며, 각 프로세스에 대한 상세한 데이터를 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 SEMITOOL 470 S는 효율적인 반도체 웨이퍼 처리를 위해 이상적인 포토 esist 장비입니다. 혁신적인 디자인은 리소그래피 프로세스의 다양성과 정확한 저항 개발 기능, 그리고 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 를 결합한 것입니다.