판매용 중고 SEMITOOL 470S #293587026

제조사
SEMITOOL
모델
470S
ID: 293587026
웨이퍼 크기: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4" 102 Controller.
SEMITOOL 470S는 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 photoresist 및 기타 photolithography 프로세스를위한 반도체 재료를 패턴화할 수 있습니다. 이 장치는 대규모 작업 실을 갖추고 있으며, 고급 생산 프로세스를 제공합니다. 또한 완전 자동 챔버 클리닝 머신 (fully automated chamber cleaning machine) 과 최신 기술 (예: 평면 및 균일 한 스캔 헤드) 과 같은 많은 사용자 친화적 인 기능을 통합합니다. 이 도구 에는 "프로그래밍 '가능 한 주사" 헤드' 와 사진술사 를 포함 하여 여러 가지 재료 를 정확 하게 무늬 로 만들 수 있는 강력 한 "레이저 '가 들어 있다. SEMITOOL 470 S는 최대 400mm 크기의 기판을 패턴화할 수 있으며, 작업 챔버에 쉽게 액세스 할 수있는 2 축 에셋을 사용합니다. 스캔 헤드 (scan head) 는 선형 모터를 사용하여 작동하므로 원하는 높이를 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 photolithography 프로세스를 관리하는 강력한 컨트롤러 및 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 컨트롤러에는 스핀 코팅 (spin coating) 및 리토 에칭 (litho-etching) 을 포함하여 다양한 처리를 선택할 수있는 몇 가지 버튼이 있습니다. 이 컨트롤러는 최대 99개의 런을 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자가 패턴화된 기판과 매개변수 최적화 (parameter optimization) 에 대한 자세한 정보를 제공할 수 있습니다. 470S에는 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 전기 충격, 방사선 누출, 배기 가스 배출에 대한 사용자의 안전을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 업계 안전 기준 (Industry Safety Standard) 을 준수하여 잠재적인 화학적 위험을 방지합니다. 470 S의 다재다능성은 안정적이고 효율적인 포토레지스트 (photoresist) 장비를 찾는 반도체 제조업체에게 이상적인 선택입니다. 이 시스템을 통해 사용자는 기판에 복잡하고 고품질 (High Quality) 의 패턴을 신속하게 생성할 수 있으며, 필요한 도구를 통해 고품질 (High-Quality) 제품을 적시에 빠르고 정확하게 제조할 수 있습니다.
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