판매용 중고 SEMITOOL 470S #178413

세미툴 470S (SEMITOOL 470S) 는 청소실 환경에서 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 반도체 회로 (semiconductor circuit) 개발을 위해 고품질의 정밀 (precision) 환경을 제공하기 위해 함께 작동하는 여러 개의 독립 구성 요소로 구성되어 있습니다. 코어에서 SEMITOOL 470 S는 고급 고주파, 펄스 전자 빔 증발기 (pulsed electron beam evaporator) 를 특징으로하며, 이는 아래에있는 물질에 최고의 포토 esist 층을 배치하도록 설계되었습니다. 증발기는 고주파, 고전압 전원 공급 장치 및 대칭 전자 빔 건으로 구성됩니다. 이 단위가 사용하는 공동 중심, 지향 전자 빔 진동 (directed electron beam oscillation) 기술은 정확한 저항 증착을 보장하고 포토 esist 라인의 크기가 일관성을 유지하도록 보장합니다. 증발기에는 열 위치, 선 너비, 증착 깊이 (deposition of deposition) 와 같은 조절 가능한 매개 변수의 범위가 제공되므로 photoresist의 정확한 적용이 가능합니다. 470S의 두 번째 구성 요소는 스핀 프로세서 (Spin Processor) 로, 포토 esist 증착의 정확한 회전 및 회전 매개변수를 제어합니다. Spin Processor에는 고급 DSP (Digital Signal Processing) 머신이 장착되어 있으며, 이는 절대 정밀한 프로세스 제어와 원거리 회전 및 가속의 정확한 추적을 결합합니다. 프로세서는 회전 프로파일의 배열 (array of spinning profile) 로 미리 프로그래밍되어 있어 저항의 두께 (resist thickness) 및 레이아웃 (layout) 요구 사항에 가장 적합한 것을 쉽게 선택할 수 있습니다. 또한 470 S에는 정확하고 일관된 다중 노출 소스를 제공하는 멀티 노출 프로세서 (Multi-Exposure Processor) 가 포함되어 있습니다. 이 프로세서는 단일 스트라이프 (single stripe) 에서 복잡한 직선 패턴화 (complex rectilinear patterning) 에 이르기까지 다양한 노출 요구 사항을 제공하여 반도체 회로 설계의 제작을 가능하게 하며, 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다. 마지막으로, SEMITOOL 470S는 고해상도 검사 도구 (high-resolution inspection tool) 를 갖추고 있어 증착 된 포토 esist의 최상의 품질과 일관성을 달성합니다. 이 에셋에는 확대/축소 렌즈를 조정할 수 있는 3개의 고해상도 카메라가 있어 여러 영역을 동시에 검사할 수 있습니다. "검찰 '모델 은 또한 강력 한" 컴퓨터' 장비 에 연결 되어 있는데, 이것 은 "카메라 '에 캡처 된" 데이터' 가 항상 정확 하고 전류 되어 있음 을 보장 해 준다. "세미툴 '470" S' 포토레지스트 '"시스템' 은 반도체 장치 제작 을 위한 완전 한 해결책 을 그 사용자 에게 제공 하는 참으로 포괄적 인 장치 이다. 고급 증발기 기술과 정확한 스핀 프로세서 (Spin Processor) 와 멀티 노출 프로세서 (Multi-Exposure Processor) 및 고해상도 검사 머신은 매우 뛰어난 품질, 일관성 및 사용 편의성을 제공합니다.