판매용 중고 SEMITOOL 470S #151764

SEMITOOL 470S는 광범위한 표면 준비, 리소그래피 및 저항 처리 응용 프로그램을 지원하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 스트립 장비입니다. 이 시스템은 혁신적인 기술을 사용하여 모든 photomask 정렬에 +/- 2 미크론의 정확성을 보장합니다. 이 장치는 다양한 기판 구성을 충족하는 모듈식 4 축 동작 기능으로 설계되었으며, 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 때 유연성과 정밀도를 제공하는 프로그래밍 가능한 4 헤드 언 윈더/리윈더 (unwinder/rewinder) 를 갖추고 있습니다. SEMITOOL 470 S는 수동 또는 자동 저항 스핀 온 (spin-on), 스핀 오프 및 정밀 정렬 및 균일성을 갖춘 저항의 개발을 포함한 다양한 저항 처리 기능을 제공합니다. 이 기계는 최대 450 ° C의 핫 플레이트와 온도, 시간, 압력, 속도를 제어할 수있는 소프트웨어 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 핫플레이트 (Hot Plate) 의 냉각 효과를 균일 한 냉각이 필요한 영역으로 제한하는 혁신적인 국소화 냉각 기술 (Localized cooling technology) 을 갖추고 있습니다. 470S는 다양한 프로세스 매개변수에 대한 정확하고 일관된 제어를 제공하는 소프트웨어 패키지 (software package) 에 의해 구동됩니다. 이러한 매개변수는 소프트웨어에 의해 실시간으로 모니터링 (monitoring) 및 조정되며, 이를 통해 에셋은 프로세스의 특정 요구 사항에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한, 본 소프트웨어에는 모든 프로세스가 안전하고 효과적인 방식으로 수행되도록 기본 (BIST) 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 이 포함되어 있습니다. 또한 470 S는 전체 진단 및 클리닝 모듈 제품군도 제공합니다. 이 모델은 자동으로 감지된 문제를 인식하고 이를 해결하기 위한 단계별 절차를 제공할 수 있습니다. 이 장비는 또한 자동 웨이퍼 식별 (Automatic Wafer Identification), 고수준 오염 감지 (High-Level Contamination Detection) 및 케이블 무결성 감지 (Cable Integrity Detection) 기능을 통해 모든 기판이 올바르게 처리되고 시스템이 최적으로 작동하는지 확인합니다. 요약하면, SEMITOOL 470S는 신뢰할 수 있고, 정확하며, 정확한 솔루션을 제공하여 다양한 photoresist 스트립 처리 응용 프로그램을 지원합니다. 이 장치에는 혁신적인 제어기, 광범위한 저항 처리 기능, 완벽한 진단 및 청소 모듈 (diagnostic and cleaning module) 이 있습니다. 세미툴 470 S (SEMITOOL 470 S) 의 모듈식 특성은 각 애플리케이션의 특정 요구를 충족시켜 포토레지스트 스트립 (photoresist strip) 처리를 위한 포괄적이고 효율적인 솔루션을 제공하도록 사용자 정의할 수 있습니다.