판매용 중고 SEMITOOL 470S #103617

SEMITOOL 470S는 반도체 처리를위한 고급 포토 esist 시스템입니다. 집적 회로 (IC) 보드 및 기타 전자 장치의 제작에 사용됩니다. 이 시스템은 열광학 (thermo-optic) 기술을 사용하여 칩 레이아웃과 피쳐를 프로그래밍하기 위해 포토 esist를 웨이퍼에 코팅합니다. 이 프로세스는 웨이퍼 어셈블리 스테이지로 시작하고, 그 후 포토 리토 그래피 노출 및 스핀 코팅이 이어집니다. 노출되는 동안, 마스크가 웨이퍼와 포토 esist 사이에 배치되고, 빛이 모델 위에 전달된다. 빛 이 비추어지는 지역 에서는 "레지스트 '가 선택적 으로 노출 되고, 빛 이 차단 된 지역 에서는 노출 되지 않은" 레지스트' 가 제거 된다. 그런 다음 포토 리토 그래피 노출에 이어 코팅 스텝이 이어지며, 여기서 웨이퍼는 SEMITOOL 470 S '열-광학 코팅 챔버에 배치됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 열 프로파일, 온도 및 균일성을 정확하게 제어하여 일관되고 반복 가능한 photoresist 증착을 가능하게합니다. 챔버에는 다중 영역 난방 메커니즘이 있으며, 안정성 향상을 위해 하나 또는 여러 개의 팬 지원 옵션이 있습니다. 마지막으로, 포토 esist는 470S의 치료 오븐에서 치료됩니다. 이 "오븐 '은" 포토레시스트' 가 적절 히 치료 되고 굳어지도록 정밀 조절 을 발전 시켰다. 또한, 오븐은 미리 설정된 온도와 지체 시간으로 여러 레시피에 대해 프로그래밍 될 수 있습니다. 전반적으로, 470 S는 타이트한 라인 너비와 높은 패턴 해상도를 생산하기위한 고급 포토 esist 시스템입니다. 정확성, 반복성, 열 제어 기능을 통해 IC 보드 및 기타 정교한 전자 장치를 안정적으로 제작할 수 있습니다.