판매용 중고 SEMITOOL 470F #178414

SEMITOOL 470F는 SEMITOOL, Inc.에서 설계 한 포토리스 처리 장비입니다. 이 시스템은 매우 다양하며 직경 200mm 또는 8 인치, 직경 300mm 또는 12 인치 범위의 모든 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 470F는 레지스트 스테이션, 워시 스테이션, 드라이 스테이션, 스핀 스테이션 및 모드 리프트 (Mod-Lift) 를 포함하는 일체형 독립형 유닛으로, 기계에서 웨이퍼를 제거하고 카세트 캐리어에 배치합니다. 저항 스테이션에는 온도, 압력, 흐름, 스핀 속도, 시간 등 매개변수에 대한 정확한 제어 및 정확한 모니터링을 보장하는 고급, 특허 기술 (Advanced, Patented Technology) 이 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 최대 150 ° C의 온도와 최대 600 rpm의 스핀 속도를 제어 할 수 있으며, 다양한 포토 esist를 적용하고 높은 처리량으로 작업 할 수 있습니다. 이 챔버에는 뛰어난 사진 저항을위한 SEMITOOL Ultra-Clean Level 4 세탁 경로가 있으며 잔류 물 제거에 저항합니다. 스핀 스테이션 (Spin Station) 은 회전 속도와 시간 제어 모두를 특징으로하며, 스핀 속도를 200 ~ 600 rpm에서 조정하여 다양한 두께와 특성을 가진 포토 esist를 적용 할 수 있습니다. 또한, 수정-리프트 (Mod-Lift) 는 웨이퍼를 공구에서 빠르고 안전하게 전송할 수 있도록 정확한 웨이퍼 배치를 제공합니다. 또한, 무단 액세스를 방지하기 위해 추가 보안 연동 기능이 장착되어 있습니다. SEMITOOL 470F는 웨이퍼 로딩에서 웨이퍼 언로딩에 이르기까지 쉽고 안정적인 프로세스 설정이 가능하도록 설계되었습니다. 또한 사용 편의성을 위한 Windows 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 전용 레시피 및 데이터 로깅 자산, 유지 관리 기록을 추적할 수 있는 장치 관리 모델 등을 갖추고 있습니다. 이 장비에는 모든 네트워크 기능이 있어 원격 액세스 및 문제 해결도 가능합니다. 전반적으로, 470F는 매우 다양하고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 처리 시스템으로, 사용하기 쉽고 다양한 웨이퍼 크기와 포토 esist를 빠르게 수용 할 수 있습니다. 고급 기술과 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 세미툴 470F (SEMITOOL 470F) 는 포토리스 필름 처리에 이상적인 선택이며, 다양한 두께, 레이어, 에치 (etch) 프로파일로 광범위한 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.