판매용 중고 SEMITOOL 470F #151769

SEMITOOL 470F 포토 esist 장비는 반도체 산업에 사용되는 코팅, 개발 및 청소 웨이퍼를위한 자동 솔루션입니다. 고급 디자인은 드라이 필름 (dry film) 및 습식 필름 작업 (wet film operation) 을 포함하여 웨이퍼 처리 작업에서 더 많은 정확성과 반복성을 제공합니다. 이 시스템은 photoresist를 단면 및 양면 웨이퍼에 모두 적용하도록 설계되었습니다. 광저항제는 균일하고 가벼운 유기 폴리머 물질이며, 반도체 제조에 사용됩니다. 포토레시스트를 웨이퍼 (wafer) 에 적용하면 각 장치에 피쳐를 생성하여 미세 피치 반도체 장치를 제조 할 수 있습니다. 470F는 wafer 프로세스 라인에 통합된 여러 모듈로 구성됩니다. 여기에는 AWL (Automatic Wafer Loader), 웨이퍼 전송 및 Spin Coater, Spinner, Developer, Cassette Cleaner 및 Hot Slot과 같은 다양한 프로세스 모듈이 포함됩니다. AWL (Automatic Wafer Loader) 은 장치에서 유입되는 웨이퍼를 안정적이고 정확하게 배치하고 전송합니다. 또한, AWL은 호환 가능한 인터페이스에 카세트 마운팅을 허용하여 효율적이고 안정적인 카세트-카세트 전송을 허용합니다. Wafer Transport Module 은 완벽한 전송 및 동작 제어를 제공하며, 재구성 가능한 전송 경로는 완전한 Closed Loop Motion Control 및 Data Logging Machine 을 통해 이루어집니다. 프로세스 모듈을 사용하면 photoresist를 웨이퍼에 적용할 수 있습니다. 스핀 코터 (Spin Coater) 는 빠른 속도로 웨이퍼에 균일 한 코팅을 만드는 데 사용됩니다. 스피너 (Spinner) 는 웨이퍼의 포토 esist, 과도한 포토 esist 제거 및 잔류 물 제거에 사용됩니다. 개발자 (Developer) 모듈은 회로 패턴을 에칭하거나 생성하기 전에 원치 않는 포토레지스트를 제거하는 데 사용됩니다. 카세트 클리너 (Cassette Cleaner) 는 청소 솔루션을 뿌려 작업 중 웨이퍼를 청소하는 데 사용됩니다. 핫 슬롯은 포토 esist를 건조시키는 데 사용됩니다. 결론적으로 SEMITOOL 470F Photoresist Tool은 반도체 산업에 사용되는 코팅, 개발 및 청소 웨이퍼를위한 포괄적 인 자동화 솔루션입니다. 통합 모듈과 고급 설계를 통해 웨이퍼 (Wafer) 처리 작업의 정확성과 반복성을 높일 수 있습니다.