판매용 중고 SEMITOOL 470 D #121593

SEMITOOL 470 D는 다양한 기판에 보호 코팅을 만들도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 딥 UV (Deep UV) 로 알려진 특수 유형의 빔을 사용하여 기판 표면의 나노미터 스케일 재료를 분해합니다. 이러한 나노 미터 스케일 물질을 분해함으로써, 미크론 스케일 광미스트 층을 높은 정밀도로 기질에 적용 할 수있다. 470 D는 매우 미세한 포토 esist 코팅을 달성 할 수있는 완전 자동화 단위입니다. SEMITOOL 소프트웨어와 결합 된 서보 보조 메커니즘은 10 미크론 해상도와 2 미크론의 수직 변위 정확도를 제공합니다. SEMITOOL 470 D에는 200mm 이상의 기판을 코팅 할 수있는 넓은 작업 공간이 있습니다. 470 D의 추가적인 이점은 포토레지스트 (photoresist) 재료의 담요층을 정확하게 제어하는 능력으로, 균일 한 두께와 기판에 대한 완벽한 접착이 가능하다. SEMITOOL 470 D는 또한 광범위한 포스트 프로세싱 옵션을 제공합니다. 내장 된 동적 초점 (Dynamic Focus) 보상 알고리즘은 photoresist 레이어의 기하학적 모양을 정확하게 제어하여 개발 전 품질을 향상시킵니다. 이 기계는 또한 최적의 균일 한 패턴 제어 알고리즘 (pattern control algorithm) 을 제공하여 사용자가 기판 처리 결과의 동적 범위를 조정할 수 있습니다. 이 외에도, 수분 센서는 사용자에게 기판 환경에 대한 더 나은 그림을 제공하는 반면, 추가 폴리머 모듈은 470 D의 포토 esist 도구와 통합되어 예금 기능을 더욱 통제 할 수 있습니다. SEMITOOL 470 D는 자동화되었지만 매우 정확한 코팅 공정으로 인해 경쟁에서 두드러집니다. 이 자산은 미크론 수준의 정확성과 동적 후처리 도구를 갖춘 균일 한 코팅을 만들어 최적의 균일성을 제공합니다. 470 D는 매우 정밀하게 거의 모든 크기와 모양의 기판을 코팅하도록 설계되었습니다. 따라서 단일 레이어 초박형 보호 코팅 (ultra-thin protective coating) 을 기판에 적용하려는 모든 사람에게 이상적인 모델입니다.