판매용 중고 SEMITOOL 460S #9194050

SEMITOOL 460S Photoresist Equipment (SEMITOOL 460S Photoresist Equipment) 는 특정 광학 특성을 가진 레이어를 만들기 위해 사용자가 기판에 광범위한 저항이나 재료를 배치 할 수 있도록 설계된 첨단 장비입니다. 460S (Batch Processing System) 는 배치 처리 시스템으로, 여러 기판을 장치에 로드하여 단일 작업으로 처리할 수 있습니다. 배치 크기는 최대 24 기판으로 제한되지만, 최소 크기는 1입니다. SEMITOOL 460S 기계는 광중합성 액체 저항, e-beam 저항 및 코팅 저항을 포함하여 광범위한 저항 물질을 수용하도록 설계되었습니다. 이 도구의 유연성 (Flexibility of the Tool) 을 통해 머신 셋업 (Machine Setup) 시간을 단축하고 다양한 프로세스 레시피를 사용할 수 있으므로 사용자가 애플리케이션의 개별 요구 사항에 부합할 수 있습니다. 460S (Advanced Thermal Control Technology) 는 고급 열 제어 기술을 사용하여 구조 및 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 온도를 보장합니다. 온도는 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 프로세스를 통해 조절되므로 프로그램 실행 중에 온도가 정확하게 유지됩니다. 또한, 클로즈드 루프 피드백 제어 (closed-loop feedback control) 를 통해 시간이 지남에 따라 온도를 조정하거나 조정할 수 있으므로 사용자가 프로세스 매개변수를 더욱 구체화할 수 있습니다. SEMITOOL 460S는 정밀 자동 로봇 공학과 이동 가능한 플랫폼을 사용하여 기판을 배치합니다. 이 플랫폼은 프로그래밍 가능한 포지셔너 (positioner) 가있는 7 축 설계를 특징으로하며, 기판을 정확하게 지향 할 수 있습니다. 또한, 이 플랫폼은 고속 포지셔닝 (positioning) 을 달성하기 위해 설계되었으며, 공정 중 충돌 가능성을 피하기 위해 진공 자산 (vacuum asset) 을 갖추고 있습니다. 460 년대 모델에는 공정 중 저항층 (Resist Layer) 의 두께를 검사하기 위해 고도로 민감한 광학 장비가 장착됐다. 시스템은 적외선 장치 (infrared unit) 를 사용하여 레이어 두께를 빠르고 정확하게 측정하여 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. SEMITOOL 460S Photoresist Machine은 대형 기판에 대한 정밀 코팅이 필요한 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. 이 툴은 사용자에게 원하는 최종 결과를 달성하는 데 필요한 정확성과 제어 (control) 를 제공하는 동시에 뛰어난 유연성을 제공합니다. 460 년대 (460S) 는 저항과 기타 재료의 고정밀 코팅이 필요한 산업 및 연구 응용프로그램을위한 최고의 솔루션입니다.