판매용 중고 SEMITOOL 460F #151780

SEMITOOL 460F Photoresist Equipment는 반도체 부품 생산에서 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계된 완전 자동화 된 전면 화학식 습식 스테이션입니다. 이 시스템은 포토 esist 코팅 공정에서 우수한 화학적 균일성, 유연성 및 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 460F는 통합 웨이퍼 로더 및 웨이퍼 언로더를 갖추고 있으며, 표준 및 베어 백 구성에서 4 인치 및 6 인치 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 기판을 처리 할 수 있습니다. "웨이퍼 '의 적재 와 하역 은 최고 의 질 의 결과 를 보장 하기 위하여" 로봇' 암 으로 이루어진다. 이 장치는 20 분에서 6 시간 사이의 로드 시간을 사용하여 사이클당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리하도록 구성 할 수 있습니다. 이 기계는 정확하고 균일 한 코팅 두께를 보장하기 위해 정밀 화학 도량형 컨트롤로 설계되었습니다. 이 도구에는 모든 포토리스 (photoresist) 와 화학 분배 (chemical dispense) 의 분배 속도를 모니터링하고 기록하는 고급 화학 분배 컨트롤러가 장착되어 있습니다. SEMITOOL 460F 에셋은 미리 결정된 레시피 매개변수에 따라 프로그래밍 할 수있는 균일 한 분배 및 코팅 프로파일을 만들 수 있습니다. 460F 모델에는 자체 진단 테스트 기능 (Self Diagnostic Test Features) 과 경보 로그 (Alarm Log) 가 장착되어 있어 장비의 손쉬운 모니터링 및 유지 보수, 장애 감지 기능 등이 가능합니다. 또한, 이 시스템에는 웨이퍼 공정 챔버 (Wafer Process Chamber) 내에서 온도 안정성을 유지하고 포토 Esist의 고해상도 이미지를 허용하기 위해 냉각탑이있는 온도 제어 장치 (Temperate Control Unit) 가 포함되어 있습니다. SEMITOOL 460F Photoresist Machine (Photoresist Machine) 은 웨이퍼를 처리하기 위해 안정적이고 효율적인 방법이 필요한 반도체 실험실 및 연구 시설에 이상적인 선택입니다. 이 도구는 우수한 화학적 균일성과 정확한 포토리스 (photoresist) 코팅을 제공하지만 유지 보수 및 효과적인 진단을 쉽게 할 수 있도록 설계되었습니다. 460F 자산은 포토레시스트 (photoresist) 처리를 위한 품질 (quality) 솔루션이 필요한 연구실과 생산 시설에 완벽한 선택이다.