판매용 중고 SEMITOOL 460 series #84151

SEMITOOL 460 시리즈는 자동 프런트엔드 프로세싱을 위한 고급 웨이퍼 트랙 (wafer track) 기술과 독점 소프트웨어를 갖춘 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 엄격한 프로세스 제어를 위해 설계되었으며, 고정밀 스테이지와 단일 웨이퍼 RF 전달이 특징입니다. 460 시리즈 photoresist 시스템은 주로 photolithography, thermal process 및 slice transfer와 같은 프로세스에 사용됩니다. 이 장치에는 완전하게 구성 가능한 로봇이 포함되어 있으며, 사용자가 웨이퍼 (Wafer) 방향과 기판 크기를 사용자 정의하여 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 이 기계에는 프로세스를 실시간으로 제어할 수 있는 오류 감지 (error detection) 및 진단 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 이 툴은 프로세스 진행 상황을 추적하고 사용자 인터페이스를 통해 성능 데이터 (performance data) 를 표시할 수 있습니다. 이 자산에는 독특한 초정밀 비접촉 분배 (non-contact dispense) 기술이 적용되어 현대 포토레시스트 (photoresist) 및 기타 거의 모든 기능 크기 또는 모양을 최고 정확도로 전달 할 수 있습니다. 이 모델에는 위치 오류를 줄이기 위해 설계된 고정밀 (high-precision) 인덱싱 단계도 있습니다. 이를 통해 프로세스 제어를 철저히 제어할 수 있습니다. SEMITOOL 460 포토 esist 장비에는 전동 척, 쿼츠 터보 히터, 터빈 송풍기, 입자 스캐너 및 플라즈마 어시스트와 같은 여러 가지 최첨단 옵션이 있습니다. 이 시스템은 또한 민감한 기판의 안전을 보장하기 위해 고급 보호 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 사용자에게 안정적이고 정확한 photoresist 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. SEMITOOL 460 시리즈는 정교한 포토리스 (photoresist) 솔루션으로 사용자가 높은 수율을 달성하고 생산량을 늘릴 수 있습니다. 이 기계는 photoresist의 신뢰성 있고 정확한 전달을 위해 설계되었으며, 사용자가 최소한의 변동 (variation) 과 엄격한 제어를 위해 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 고정밀 성능과 최대한의 안전을 위한 여러 가지 고급 기능이 장착되어 있습니다.