판매용 중고 SEMITOOL 440S #9137505

SEMITOOL 440S (SEMITOOL 440S) 는 반도체 제조에서 높은 정확도와 높은 처리량 마스크 처리 및 중요한 습식 작동을 위해 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술의 초미세 라인 정의 (Ultra-Fine Line Definition of Advanced Technologies) 와 같이, 중요한 청결 및 정밀 처리가 필요한 경우에 가장 적합합니다. 이 장치는 폐쇄 루프 (closed-loop), 이중 컨트롤러 (dual-controller) 플랫폼 아키텍처로 구성되며 두 개의 개별 장비 (마스크 정렬기 및 습식 프로세서 모듈) 를 구동합니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 가공하는 동안 포토마스크 피쳐를 기판에 정확하게 정렬하는 데 사용되며, 습식 (wet) 프로세서 모듈은 습식 (wet) 에칭 프로세스를 담당합니다. 마스크 정렬기는 정전기 베이크 플레이트 (electrostatic bake plate) 와 조절 가능한 UV 레이저 (adjustable power UV laser) 로 구성되어 기판과 함께 포토 마스크 피쳐를 정확하게 정렬합니다. 평판에서 3 차원 표면까지 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 10 인치의 기판 크기를 특징으로합니다. 베이크 플레이트는 photomask 노출 과정 전에 photoresist를 강화하는 데 사용됩니다. 습식 프로세서 모듈은 습식 에칭, 산화물 에칭, 증기 에칭, 청소 및 프라이밍을 포함한 다양한 습식 에칭 작업을 담당합니다. 2 단계 석영 공정 챔버 (quartz process chamber) 로 구성되며 화학 공정과 물리적 공정을 모두 활용하여 원하는 에칭 및 청소 결과를 얻습니다. 이 기계의 자동화 및 제어 기능은 정교한 프로세스 및 정렬 제어를 제공하는 SEMITOOL Command Software Suite 를 기반으로 합니다. 이 소프트웨어에는 실시간 노출 기능 모니터링, 높은 정확도 정렬 제어, 조절 가능한 전원 레이저 제어, 실시간 프로세스 모니터링, 온라인 프로세스 진단 등의 기능이 포함되어 있습니다. 이 도구는 안정적이고 반복 가능한 성능을 보장하는 자체 교정 (Self-Calibration) 기능과 맞춤형 프로세스 레시피를 지원하는 프로그래밍 가능한 에치 프로세스 창 (Etch Process Window) 을 갖추고 있습니다. 이 자산에는 경보 (alarm), 도어 인터록 (door interlock), 비상 정지 버튼 (emergency stop button) 과 같은 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있어 위험 상태로부터 운영자와 장비를 모두 보호합니다. 전반적으로, 440S는 높은 정확도와 높은 처리량 마스크 처리 작업을 위해 특별히 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 모델입니다. 이 제품은 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스, 정교한 프로세스 제어 기능, 그리고 안정적이고 반복 가능한 성능을 보장하는 자가 조정 (self-calibration) 기능을 갖추고 있습니다. 즉, 높은 클리닝 및 정밀 처리 작업에서 고급 기술의 초소형 라인 정의에 적합합니다.