판매용 중고 SEMITOOL 4300S #9221068

SEMITOOL 4300S는 얇은 필름 및 반도체 기판을 제거하고 집적 회로 (IC) 의 생산을 가능하게하기 위해 설계된 포토레스 처리 장비입니다. 비용 효율적이고 대용량, 고정밀 생산에 이상적인 플랫폼입니다. 이 시스템은 3 축 스테퍼 모터와 방향성 진공 웨이퍼 로드 스테이션으로 구성됩니다. 웨이퍼는 x, y, z 축을 따라 스테퍼 모터에 의해 이동되는 캐리어에 로드됩니다. 진공 "펌프 '는" 웨이퍼' 를 작업 "스테이션 '에 끌어 올린 다음," 모우터' 는 공정 단계 를 통하여 "웨이퍼 '를 이동 시킨다. SEMITOOL 4300 S에는 프로그래밍 가능한 스핀 속도와 UHV 터보 펌프를 사용하는 정밀 저항 필름 응용 프로그램이 장착되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 표면을 가로 질러 포토 esist 필름의 균일 한 증착을 보장한다. 정밀 포스트 스핀 스피드 제어 (precision post spin-speed control) 에 의해 증착의 정밀도가 더욱 향상되어 웨이퍼에 적용되는 토크를 최적화합니다. 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Unit) 는 기판의 포토 esist 필름의 증착을 모니터링하는 데 사용됩니다. 원하는 두께 에 따라 "로터 '의 속도 를 조정 하기 위하여" 와퍼' 의 두께 를 측정 하고 "피드백 '을" 응용 프로그램' 에게 준다. 핫플레이트는 조절이 가능하여 에칭 시간 (etching time) 과 온도 (temperature) 와 같은 프로세스 변수를 설정할 수 있습니다. "로터 '는 광저온 처리 중 에 균일 한 온도 를 유지 하기 위한 냉각기 를 가지고 있다. 이 도구에는 사용 된 포토 esist 필름을 수집하기위한 폐기물 실도 포함되어 있습니다. 4300S는 다양한 포토 esist 프로세스 응용 프로그램에 사용될 수있는 다재다능한 자산입니다. 안정적이고 안정적이어서 고정밀 IC를 일관되게 생산할 수 있습니다. 이 모델은 또한 탁월한 비용 효율성을 제공하여, 운영 라인의 요구 사항에 적합한 제품입니다.