판매용 중고 SEMITOOL 4300S #293608837

SEMITOOL 4300S는 고급 마이크로 일렉트로닉 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 완전 자동화된 코팅 (coating) 및 개발 시스템으로, 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스를 처리할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 양성 및 음성 포토 esist에 대한 자동 필름 두께 제어가 포함되어 있습니다. 프로세스 제어, 공구 가동 시간, 수율을 최적화하기 위해 고급 기능이 로드됩니다. SEMITOOL 4300 S 기계는 유리, 실리콘, 쿼츠를 포함한 기판 표면에서 필름 두께를 정확하게 제어합니다. 고급 광학 간섭계 (Advanced Optical Interferometer) 는 웨이퍼 레벨에서 절대 필름 두께를 제공하며 분 내에 정확한 두께 측정을 수행합니다. 이 도구는 또한 리버스 스캔 모드, 멀티 채널 가습기 및 광섬유 기반 측정 기술을 통합하여 반복성, 정확성 및 재생성을 보장합니다. 4300S는 자동 18 단계 200mm 프로그래밍 가능 웨이퍼 카세트와 함께 제공되어 웨이퍼가 적당한 방식으로 적재, 청소 및 노출되도록 합니다. 특허받은 노즐 기술을 갖춘 화학 내성 스프레이어 (Sperayer) 를 장착하여 정확하고 균일 한 코팅 매개변수를 제공합니다. 에셋에는 또한 독점 4 롤 스퀴지 모듈이 포함되어 있으며, 챔버 압력과 유량을 정확하게 제어하여 균일 한 필름 두께와 높은 수율을 보장합니다. 또한 4300 S에는 모델 매개변수 모니터링을위한 하드웨어 모니터, 프로세스 매개변수 사용자 정의 및 변경을위한 레시피 에디터 (Recipe Editor), 프로덕션 기록 및 통계 추적을위한 프로덕션 매니저 (Production Manager) 가 포함 된 고급 프로세스 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 통합 자동 결함 탐지 장비 (automatic defect detection equipment) 는 눈에 보이지 않는 이상에 대한 포토리스 필름 (photoresist film) 과 기판 표면을 모니터링하여 오염을 줄입니다. 마지막으로, SEMITOOL 4300S는 인체 공학적 (ergonomic) 설계를 통해 쉽게 액세스할 수 있고 유지 보수가 단순화됩니다. 이 제품의 특징과 기능은 효율적인 프로세싱과 안정적인 생산성을 보장하는 한편, 의도하지 않은 오염을 방지하고 비용을 최소화합니다. 자동화 된 시스템은 고 반복 성, 저 교차 오염, 좋은 광석학 적 성능, 마이크로 전자 제품 조립의 생산성 향상 등을 실현하는 것으로 입증되었습니다.