판매용 중고 SEMITOOL 4300S #25304
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ID: 25304
Single stack spin rinser dryer, 8"
Roll around configuration
Includes:
Class 10 Poly
4 bolt or quick
Disconnect rotor
N2 rear seal.
SEMITOOL 4300S는 반도체 산업을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 완전하게 자동화된 플랫폼으로, 박막 사진작가를 웨이퍼에 정확하고 정확하게 배치할 수 있습니다. Photoresist System (PRS) 은 유연하고 사용자 친화적 인 장치로, 정확하고 안정적인 성능을 제공합니다. 이 기계는 다중 노즐을 사용하는 고급 저항 영상 장치 (Advanced Resist Imaging Unit) 를 사용하여 고정밀, 균일 및 균질 한 소용돌이 증착을 가능하게합니다. 소용돌이 제트기는 균일하고 일관된 방울 크기와 모양을 보장하기 위해 동요합니다. 이것은 가장 섬세한 포토 esist의 정확하고 반복 가능한 코팅을 보장합니다. 정확하고 안정적인 강착 속도 (deposition rate) 는 포토 esist 레이어가 웨이퍼의 앞면과 뒷면 모두에 걸쳐 균일 한 두께를 갖도록 보장합니다. 이 도구는 통합 된 다중 레이어 마스크 (multilayer mask) 와 광학 (optics) 을 갖춘 강력한 정밀 광원을 특징으로하여 photoresist 레이어를 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 하드 필터와 소프트 필터는 모두 포토 esist의 정확한 노출을 보장합니다. 특허 출원 중인 고급 노즐 디자인과 동적 공기 흐름 기술을 통해 PEB (Post Exposure Bake) 가 정확하고 반복 가능하여 스틱과 디어 미네이션과 같은 일반적인 웨이퍼 문제를 방지합니다. SEMITOOL 4300 S에는 통합 화면 분석 자산도 제공됩니다. 이 고급 (advanced) 기능을 사용하면 광전사 레이어를 효율적으로 스크리닝하여 균일 한 증착과 노출을 보장할 수 있습니다. 이 기술은 웨이퍼 표면에 비 침습적 스캐닝 (non-invasive scanning) 을 사용하여 포토레스 레이어에서 작은 변형을 감지 할 수 있습니다. 4300S는 사용자의 유연성과 안정성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 모델의 빠른 설치, 클리닝, 유지 보수 (maintenance) 를 통해 광범위한 프로세스 조정 및 수정 작업을 처리할 수 있습니다. 이 고급 포토레시스트 (photoresist) 장비는 반도체 산업 내의 모든 포토레시스트 증착 과정에 효율적이고 정확한 솔루션을 제공합니다.
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