판매용 중고 SEMITOOL 4300 #9116706

제조사
SEMITOOL
모델
4300
ID: 9116706
Spin rinse dryer Rinseware controller.
SEMITOOL 4300 포토 esist 장비는 고급 통합 회로 생산을 돕기 위해 설계된 최첨단 플랫폼입니다. 포토 esist 증착, 지원, 스핀 코팅 및 광범위한 기판 개발의 효율성을 높이기 위해 설계된 고 처리량, 단일 웨이퍼 프로세스입니다. 이 시스템은 사용 가능한 최고 온도 155 ° C의 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. 그것 은 "실리콘 ', 유리," 플라스틱' 등 여러 가지 기판 을 입히는 데 사용 될 수 있다. 장치의 기능에는 0-1200 RPM 스핀 속도, 최대 300 Torr 궁극적 진공 압력 및 온도 균일성 +/- 5 ° C가 포함됩니다. 기계에는 듀얼 포켓 (dual-pocket) 작업 흐름이 있으며, 두 번째 포켓에는 프리소트 사이클 (precoat cycle) 이 있으므로 여러 프로세스 단계를 순차적으로 수행 할 수 있습니다. 최첨단 프로세스 (State-of-the-art process) 기능은 사전 정리 프로세스에 필요한 프로세스 단계 수를 크게 줄여줍니다. 또한 인라인 온도 컨트롤러 (inline temperature controller) 가 필요하지 않으므로 런타임 중에 프로세스 단계를 추가로 수행할 필요가 없습니다. 공구의 챔버는 프로세스 반복성을 보장하고 교차 오염을 방지하도록 설계되었습니다. 그것은 우수한 온도 보존 및 오랜 처리 시간 동안 산화 예방을 위해 경량 알루미늄으로 구성됩니다. 4300은 다양한 프로세스 제어 및 프로세스 분석 도구를 제공하는 터치패드 제어판 (touchpad control panel) 에 의해 제어됩니다. 사용자 친화적 인 인터페이스 (User Friendly Interface) 를 통해 다양한 포토리스 프로세스 (Photoresist Process) 에 대한 자산을 쉽게 프로그래밍하고 설정할 수 있습니다. SEMITOOL 4300 (SEMITOOL 4300) 은 포토리스 (photoresist) 제조를 위한 안정적이고 효율적인 프로세스이며, 고출력 산업 제작 어플리케이션에 이상적인 플랫폼입니다. 모델의 프로세스 제어 (Process Control) 기능을 활용하여 프로세스의 정확성과 일관성을 보장하여, 제품의 정합성 (Consistent Product) 을 통해 최고의 품질을 보장합니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 설치, 사용, 유지 관리가 용이합니다.
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