판매용 중고 SEMITOOL 280S #9123938

제조사
SEMITOOL
모델
280S
ID: 9123938
웨이퍼 크기: 4"-8"
Semi-automatic prober, 4"-8" 4-Point prober Wafer capabilities: 1 and 5 X-Y Point measurment Rotational stage P and N Type.
SEMITOOL 280S Photoresist Equipment는 낮은 온도에서 표면의 고해상도 에칭 및 이온 빔 에칭에 최적화된 고급 플랫폼입니다. 높은 정확도 (High Accuracy) 기능의 처리 성능과 정확도를 향상시키기 위한 고급 (Advanced) 기능 제품군을 제공합니다. 280S Photoresist System은 MCR (Multi-Chamber Resistance Chromatography) 이온 빔 증착 장치가 장착 된 진공 처리 챔버를 기반으로합니다. 이를 통해 균일 한 형태 학적 적용 범위와 뛰어난 품질을 갖춘 매우 얇고 고해상도 필름 (film) 을 제작할 수 있습니다. MCR (MCR) 은 프로세스가 안정적이고, 반복 가능하며, 필름 두께를 정확하게 제어 할 수 있도록 하는 데 사용됩니다. SEMITOOL 280S에는 다양한 광학 보조 전극 제어와 함께 다양한 이온 빔 전류 (ion beam current) 및 다양한 이온 에너지 (ion energy) 를 완벽하게 제어하기 위해 다양한 소프트웨어, 컨트롤러 및 드라이버가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 다중 레이어 구조를 정확하게 정렬하고, 피쳐 크기를 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 기계는 1.1 바, 200 ° C, 13mbar 및 최대 400 ° C의 다양한 온도 및 압력 설정을 가지고 있습니다. 이를 통해 도구는 다양한 응용 프로그램 (예: 에칭 중 높은 온도가 필요한 응용 프로그램) 에서 작동 할 수 있습니다. 또한 280S는 최소한의 미립자 생성 및 산화를 제공하여 가공 표면의 품질을 향상시킬 수 있습니다. "세미톨 '280S 는" 에칭' 하는 동안 에 약실 에 존재 할 수 있는 오염 물질 의 수 를 줄이는 데 도움 이 되는 여러 가지 세포 로부터 유익 을 얻는다. 이렇게 하면 사용자가 더 신뢰할 수 있는 Cleanroom 환경을 구축할 수 있을 뿐 아니라, 노출된 기능을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 사용이 간편한 다양한 유지 보수 (maintenance) 기능으로 설계되어 서비스 용이성을 향상시킵니다. 결론적으로, 280S Photoresist Model은 낮은 온도에서 표면의 고해상도 에칭 및 이온 빔 에칭에 최적화된 고급 플랫폼입니다. 다양한 온도 및 압력 설정, MCR 이온 빔 증착 장비, 광학 보조 전극 제어 및 챔버 오염을 줄이기 위해 설계된 셀은 고품질, 정확하게 에칭 된 기능을 생산하는 데 이상적입니다.
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