판매용 중고 SEMITOOL 280F #151759

SEMITOOL 280F
제조사
SEMITOOL
모델
280F
ID: 151759
웨이퍼 크기: Up to 8"
Spin rinse dryer, up to 8".
SEMITOOL 280F는 SEMITOOL 회사에서 제조 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 가공 및 제조, 의료 기기 생산, 재료 연구 등 다양한 산업에 사용됩니다. 280F 포토 esist 시스템은 2 코트 포토 esist 프로세스에 사용하도록 특별히 설계되었으며, 이는 패턴 레이어를 만들기 위해 2 개의 포토 esist 레이어가 웨이퍼에 적용됨을 의미합니다. 이 장치는 안정성이 높으며 [패턴 균일성] 및 [기능 대비] 와 관련하여 뛰어난 정확도를 제공합니다. SEMITOOL 280F에는 카세트-카세트 트랙이 통합되어 있습니다. 따라서 특수 도구를 사용하지 않고도 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 기계는 또한 통합 된 전동 스핀 척 (Motorized Spin Chuck) 을 가지고 있으며, 분당 최대 2,400 회전의 속도로 웨이퍼를 회전 할 수 있습니다. 또한, 화학 폐기물을 최소화하면서 최적의 스프레이 커버리지를 제공하도록 설계된 듀얼 헤드 스프레이 노즐 (dual-head spray nozzle) 이 있습니다. 이 도구에는 또한 적외선 조명을 사용하여 포토 레스트 (photoresist) 의 패턴과 균일성을 확인하는 통합 된 최첨단 비전 자산이 있습니다. 포토 esist 코팅 프로세스와 관련하여 정밀성과 반복성을 보장하는 통합 화학 전달 모델 (integrated chemical delivery model) 이 있습니다. 280F는 2 코트의 포토리스트 (photoresist) 가 필요한 프로세스와 높은 처리량 생산 라인을 다루는 회사에 이상적인 선택입니다. 탁월한 호환성과 성능을 제공하는 고효율의 장비로, 안정적이고 반복 가능한 결과와 결합되어 있습니다 (영문). 자동 기능, 통합 기능, 반복 가능한 프로세스를 갖춘 SEMITOOL 280F 는 시장에서 가장 뛰어난 성능을 자랑하는 시스템 중 하나입니다.
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