판매용 중고 SEMITOOL 280 #9116704
URL이 복사되었습니다!
SEMITOOL 280은 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 석판 촬영을위한 웨이퍼 마스크 (wafer mask) 를 만들고 박막 증착을위한 도구와 기술을 제공합니다. 이 "시스템 '은 직경 이 최대 8" 인치' 인 기질 을 처리 할 수 있으며 동일 한 정밀도 로 "실리콘 '," 게르마늄' 및 "갈륨 '비소" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있다. 이 장치는 저항 프로세서와 증착기의 두 부분으로 구성됩니다. 저항 프로세서는 본질적으로 실리콘 웨이퍼에서 클린, 코트, 베이크 및 스트립 포토 esist를 제공하는 스핀 코터, 디스 테어, 오븐 (모두 하나의 도구) 입니다. 저항 프로세서 (resist processor) 는 자동화되고 증착 도구와 통합되어 웨이퍼 (wafer) 표면에 지어진 구조물에 사용되는 박막 (thin film) 의 증착을 정확하게 제어합니다. 280은 필름 두께의 탁월한 균일성을 제공하면서 높은 처리량 생산을 위해 설계되었습니다. 에셋은 고급 모션 제어 기술을 사용하여 웨이퍼의 균일 한 범위를 보장합니다. 모델을 제어하는 데 사용되는 소프트웨어는 기판 회전, 도펀트 농도, 도금 전류 (plating current) 및 정확한 증착 제어에 중요한 다른 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 장비는 다양한 옵션으로 제작되었으며, 특정 어플리케이션을 손쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 전자 빔/열/광학 리소그래피, 원자층 증착, 클러스터링 및 습식 화학 물질과 같은 고급 프로세스가 가능합니다. 또한 통합된 오프라인 프로세스 제어 (Offline Process Control) 를 통해 모든 필수 테스트와 측정이 완료되고 배송 전에 검증됩니다. SEMITOOL 280은 하이엔드 반도체 디바이스에 적합하며, 대용량 (high-volume) 생산을 위한 안정적인 선택입니다. 오토 메이션 시스템 (Automated System) 을 통해 운영자는 증착 과정의 모든 측면을 정확하게 제어하기 때문에 오류와 폐기물을 최소화 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 모션 컨트롤을 통해 일관된 결과를 얻어 최적의 웨이퍼 (wafer) 처리를 제공하여 필름 두께의 탁월한 균일성을 보장합니다. 즉, 하이엔드 운영에 사용하기 위한 시스템 효율성이 높고 비용 효율성이 뛰어납니다.
아직 리뷰가 없습니다