판매용 중고 SEMITOOL 280 #9116704

SEMITOOL 280
제조사
SEMITOOL
모델
280
ID: 9116704
Spin rinser dryer Rinseware controller.
SEMITOOL 280은 고급 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 석판 촬영을위한 웨이퍼 마스크 (wafer mask) 를 만들고 박막 증착을위한 도구와 기술을 제공합니다. 이 "시스템 '은 직경 이 최대 8" 인치' 인 기질 을 처리 할 수 있으며 동일 한 정밀도 로 "실리콘 '," 게르마늄' 및 "갈륨 '비소" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있다. 이 장치는 저항 프로세서와 증착기의 두 부분으로 구성됩니다. 저항 프로세서는 본질적으로 실리콘 웨이퍼에서 클린, 코트, 베이크 및 스트립 포토 esist를 제공하는 스핀 코터, 디스 테어, 오븐 (모두 하나의 도구) 입니다. 저항 프로세서 (resist processor) 는 자동화되고 증착 도구와 통합되어 웨이퍼 (wafer) 표면에 지어진 구조물에 사용되는 박막 (thin film) 의 증착을 정확하게 제어합니다. 280은 필름 두께의 탁월한 균일성을 제공하면서 높은 처리량 생산을 위해 설계되었습니다. 에셋은 고급 모션 제어 기술을 사용하여 웨이퍼의 균일 한 범위를 보장합니다. 모델을 제어하는 데 사용되는 소프트웨어는 기판 회전, 도펀트 농도, 도금 전류 (plating current) 및 정확한 증착 제어에 중요한 다른 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 장비는 다양한 옵션으로 제작되었으며, 특정 어플리케이션을 손쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 전자 빔/열/광학 리소그래피, 원자층 증착, 클러스터링 및 습식 화학 물질과 같은 고급 프로세스가 가능합니다. 또한 통합된 오프라인 프로세스 제어 (Offline Process Control) 를 통해 모든 필수 테스트와 측정이 완료되고 배송 전에 검증됩니다. SEMITOOL 280은 하이엔드 반도체 디바이스에 적합하며, 대용량 (high-volume) 생산을 위한 안정적인 선택입니다. 오토 메이션 시스템 (Automated System) 을 통해 운영자는 증착 과정의 모든 측면을 정확하게 제어하기 때문에 오류와 폐기물을 최소화 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 모션 컨트롤을 통해 일관된 결과를 얻어 최적의 웨이퍼 (wafer) 처리를 제공하여 필름 두께의 탁월한 균일성을 보장합니다. 즉, 하이엔드 운영에 사용하기 위한 시스템 효율성이 높고 비용 효율성이 뛰어납니다.
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