판매용 중고 SEMITOOL 270S #293811564

SEMITOOL 270S는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. "와퍼 '를 보호" 필름' 로 입히는 데 사용 되는 자동화 된 "시스템 '이다. 이 장치는 로봇 암 (robot arm) 을 사용하여 포토리스 스트 (photoresist) 를 적용하고 여러 기능을 사용하여 균일 한 필름 두께와 커버리지를 보장합니다. 로봇 암을 제어하는 SERVOPAC 머신 소프트웨어 (SERVOPAC Machine Software) 는 적절한 필름 두께를 보장하기 위해 로봇의 움직임을 프로그래밍하는 데 사용됩니다. 이 소프트웨어는 또한 정밀 응용 프로그램 (precision application) 을 위한 로봇의 움직임을 세밀하게 조정하고 작동 중 로봇의 성능을 모니터링하는 기능을 제공합니다. 이 툴은 최대 300mm 직경의 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있으며, 쉽게 유지 관리 및 업그레이드할 수 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 또한 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬하도록 설계된 듀얼 웨이퍼 정렬 플레이트 (dual-wafer alignment plate) 를 사용하여 균일 한 필름 두께를 보장합니다. 이는 반도체 제조에 사용되는 데 필요한 자산의 정확성을 제공합니다. SEMITOOL 270-S에는 오염을 예방하는 데 도움이되는 "진공 잠금" 도 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 처리 되는 동안 광유전자 와 기타 화학 물질 들 을" 와퍼' 에서 분리 시키는 데 도움 이 되는 안전 기능 이다. 진공 잠금을 만드는 데 사용되는 펌프는 신뢰할 수 있으며, 일관된 진공 수준을 제공합니다. 이 모델에는 최적 (optimum) 작동 온도를 유지하고 포토 esist의 열 분해를 방지하기위한 온도 컨트롤러 (temperature controller) 도 포함되어 있습니다. 온도 컨트롤러 (Temperature controller) 는 고정 필름 두께와 커버리지를 보장하며, 급속 냉각으로 인한 손상으로부터 장비를 보호하는 데 도움이 됩니다. 270S는 처리 중 포토 esist를 조사하기 위해 고급 LED 조명 장비를 사용합니다. 이는 일관된 노출 수준을 보장하고 포토리스 연주자 (photoresist) 의 정확한 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 시스템은 비상 종료 (Emergency Shutdown) 단추 및 경고 표시등 (Warning Light) 과 같은 안전 기능을 사용하여 작동 안전성을 보장합니다. 이 기능은 장비와 인력이 부적절한 사용으로 인해 손상되지 않도록 보호합니다. 전반적으로, 270-S는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 안정적이고 효과적인 포토 esist 장치입니다.