판매용 중고 SEMITOOL 270S #293590455

SEMITOOL 270S는 대용량 반도체 제조에 최적으로 사용하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 사전 제조 된 세라믹 척 (ceramic chuck) 과 최적의 화학 저항, 온도 균일성 및 입자 제어를 위해 맞춤형 가공 알루미늄 퀼을 갖춘 혁신적인 스피너 디자인을 사용합니다. SEMITOOL 270-S는 다양한 photoresist 처리 요구에 대한 여러 카세트 옵션을 제공하며, 대형 코팅을위한 표준 4 x 5 "카세트 디자인, 소형 코팅을위한 표준 E-max 카세트 및 고정밀 초고속 처리량을위한 고급 10 카세트. 내부 및 외부 웨이퍼 처리 액세서리를 사용하여 기능 및 편의성을 높일 수 있습니다. 270S (Advanced Chemical Control System) 를 통해 사용자는 농도, 온도, 시간, 스핀 및 린스 속도 및 기타 매개 변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 고유한 웨이퍼 리프트 (wafer lift) 메커니즘이 표준으로, 사용자가 필요에 따라 전체 웨이퍼를 원하는 위치로 올리고 낮출 수 있습니다. 스핀 및/또는 린스 속도 (Rinse Speed) 는 패널에 프로그래밍되거나, 직접 드라이브 모터를 사용하여 독립된 균일 한 스핀 속도를 전달할 수 있습니다. 270-S에는 press-to-spin 및 spin-on-demand interlock 스위치, wash tank 및 spin tank overflow 센서를 포함한 여러 안전 기능이 장착되어 있으며, 저수지가 특정 수준을 초과해야 하는 자동 차단 장치가 있습니다. 온보드 질소 기계는 또한 산화 위험을 줄이는 데 도움이되며, 닫힌 루프 온도 조절 도구 (closed loop temperon control tool) 는 현지화 된 핫스팟 및 표면 온도 변화를 제거합니다. SEMITOOL에는 중요한 온도, 속도 및 기타 작동 변수를 모니터링하는 고급 진단 시스템 (advanced diagnostics systems) 도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 270S photoresist 자산은 현대 반도체 제조를위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 고급 안전 및 화학 제어 시스템, 정확한 스핀 및 린스 (spin and rinse) 기능, 온보드 모니터링 기능을 갖춘 SEMITOOL 270-S는 까다로운 생산 요구에 맞는 최고 품질의 포토레지스트 (photoresist) 처리를 제공합니다.