판매용 중고 SEMITOOL 270S #178056

SEMITOOL 270S Photoresist Equipment는 반도체 석판화 처리에 대한 최신 시장 수요를 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 도구는 다양한 포토 마스크, 기판 및 코팅에서 최대 150mm 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며, 에칭, 이온 임플란테이션, 임플란테이션 및 기타 고급 프로세스와 같은 석판 공정에 완벽한 선택입니다. SEMITOOL 270-S에는 7 축 로봇 포지셔닝 시스템과 4 축 정지 동작 장치가 있으며, 둘 다 최적의 프로세스를 위해 컨트롤러와 연결되어 있습니다. 전체 시스템은 Motion Control 컴퓨터 및 Operator Interface와 통합됩니다. "컴퓨터 '는 연산자 가 여러 가지" 로봇' 모터 를 조작 함 으로써 원격으로 기계 를 조종 할 수 있게 한다. 한편, 연산자 인터페이스 (Operator Interface) 를 사용하면 프로세스의 진행 상황을 모니터링하고 특정 매개변수를 조정할 수 있습니다. 웨이퍼 처리 측면에서 270S는 조명 노출, 스핀 앤 스프레이 코팅, 프리 베이크 및 포스트 베이크, 백 사이드 클리닝 및 코팅, 노출 후 베이크 작업을 효율적으로 관리 할 수 있습니다. 이 도구는 초당 최대 180 와트의 속도로 수행 할 수 있으며, 그에 따라 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어를 강화하기 위해 고급, 자동 수정 자산도 제공합니다. 안전성, 보안성 면에서 보면, 270-S 는 여러 가지 주요 기능을 통해 높은 수준의 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 모델은 고급 보안 프로토콜 (Security Protocol) 과 함께 제공되며, 이 프로토콜은 시스템의 무단 이동 또는 수정을 방지합니다. 그 에 더하여, "로봇 '" 모우터' 는 안전 "인터록 '을 갖추고 있으며 전체 장비 는 가장 엄격 한 화재 안전 요건 을 충족 시키도록 설계 되었다. 요약하면, SEMITOOL 270S Photoresist System은 반도체 리소그래피 프로세싱의 최신 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 강력하며 효율적인 웨이퍼 처리 도구입니다. 이 제품은 높은 수준의 안전, 정확도, 제어 기능을 제공하며, 고급 컴퓨터/운영자 인터페이스로 인해 원격 프로그래밍 및 모니터링이 매우 쉬워집니다.