판매용 중고 SEMITOOL 270S #151767
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SEMITOOL 270S는 매우 정밀한 포토 esist 코팅 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 정교한 자동 포토 esist 스프레이 코터입니다. 모듈식 (Modular) 설계를 통해 유연성을 극대화하여 각기 다른 고객 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. SEMITOOL 270-S (SEMITOOL 270-S) 는 균일하고 반복 가능한 필름 두께로 넓은 영역을 코팅하도록 설계되었으며, 동시에 또는 순서대로 최대 4 개의 다른 포토 esist 유형을 수용 할 수 있습니다. 이 장비에는 통합 센서 및 제어 시스템 (Control System) 이 포함되어 있어 작동이 안정적입니다. 270S 포토 esist 스프레이 코터에는 컴퓨터 제어, 멀티 존 (multi-zone) 공정 챔버가 장착되어 있으며, 응용 프로세스 동안 다른 매개변수를 정확하게 제어하도록 조정할 수 있습니다. 챔버에는 동적 압력 센서가 장착 된 컴퓨터 제어 조절 가능한 볼륨 챔버 (volume chamber) 가 있어 두께가 균일합니다. 또한 부피 챔버 (volume chamber) 에는 화학 탱크를 자동으로 보충하고 시간이 지남에 따라 적재 챔버에서 균일 한 저항 농도를 유지하기 위해 자동 리필 시스템이 있습니다. 270-S에는 코팅 배치 사이의 챔버를 청소하기위한 질소 스윕 장치도 포함되어 있습니다. SEMITOOL 270S 포토 esist 스프레이 머신은 고급 서보 제어 스프레이 건 (spray gun) 으로 설계되어 포토 esist 소재의 정확하고 반복 가능한 적용을 가능하게합니다. "노즐 '은 최소 의 산화 와 결함 을 가진 균일 한" 필름' 을 적용 하도록 설계 되었다. 노즐에는 가변 너비 동심원 링에 장착 된 회전 스피너 (rotating spinner) 어셈블리가 있으며, 이는 다양한 선 너비의 균일 한 코팅을 생성하도록 조정 될 수 있습니다. 또한, 이 도구는 다중 노즐 구성을 사용하여 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. SEMITOOL 270-S 포토 esist 스프레이 코터는 유연하고 직관적인 프로그래밍을 위해 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 코터의 매개변수, 설정 및 작동을 쉽게 제어 할 수 있습니다. 또한, 자산은 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 기술을 사용하여 기판 전체에 걸쳐 일관된 코팅 패턴을 보장하여 매우 효율적입니다. 마지막으로, 270S는 다운타임을 최소화하고 적절한 운영 및 지속적인 기능을 보장하는 유지 관리 (maintenance) 모드를 갖추고 있습니다.
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