판매용 중고 SEMITOOL 270F #178372
URL이 복사되었습니다!
ID: 178372
Table-top Spin Rinse Dryer (SRD)
Capable of processing up to 6" wafers
"F" model has the class 10 poly, brush motors and the PSC-101 controller
Controller Compatability: PCS-101
DI Water Recirculation: YES
Motor Seal: Ferrofluidic
Motor Type: Brush
N2 Heater Capable: YES
Resistivity Monitoring Capable: YES
Rotor Type: 4 Bolt
Static Eliminator Capable: YES
Substrate size: 150 mm max.
System Configuration: Table Top Single Bowl
Specifications:
101 Controller, Digital
Polypropylene cabinet
Up to 6" process capability
Brush motor
Teflon DI and N2 lines
Color coded pneumatic tubing
Bowls to be electropolished
Ferrofluidic Seal design
110V ready system
4 Bolt rotor design - No rotors are included
DI resistivity monitor option is included
Anti Static module option is included
DI recirculation option is included
Electropolish metal surfaces
Spin dryer bowl
Nitrogen manifold
Mounting brackets
Components:
Gaskets & O-Rings for
D.I. Water Manifold
Nitrogen manifold
Rear bowl seal
Door seal
Vibration dampers
Color-coded pneumatic tubing
Teflon lines for N2
Teflon lines for D.I.
DI Nozzles
N2 Filter.
SEMITOOL 270-F는 Photolithography 프로세스의 가장 어려운 과제를 위해 설계된 Fully Automated Photoresist Processing Equipment입니다. 270-F 는 완벽하게 자동화된 운영 및 업계 최고의 프로세스 기능을 통해 최고 수준의 다용도 및 성능을 제공합니다. 다양한 기질에서 습식 (wet) 과 건식 (dry) 광전자 (photoresist) 를 모두 처리 할 수있는 기능으로 SEMITOOL 270-F는 다양한 광석기 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 270-F는 이중 온도 영역 (zone) 과 자동 난방 및 냉각 기능으로 최대 온도 제어를 위해 설계되었습니다. 이를 통해 여러 프로세스에서 일관된 개발 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 터치스크린 사용자 인터페이스를 사용하여 온도를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. SEMITOOL 270-F는 또한 배기 공기에서 부틸 아세테이트 또는 메틸 에틸 케톤과 같은 유기 화합물의 농도를 감소시키는 진공 불식제를 포함한다. 또한 270-F는 단순한 전방 (front) 에서 후면 (backside) 포토레지스트 처리, 3 개의 패스 컨택트 정렬기 및 어닐링 시스템 (annealing system) 과 같은 고급 응용 프로그램에 이르기까지 다양한 프로세스 옵션을 제공합니다. "테이프 '와" 트레이' 수송 "시스템 '은 기판 을 신뢰 할 만한 취급 하는 반면, 독특 한 접점" 타이너' 장치 는 2 "마이크로 미터 '나 얇은 필름 두께 를 유지 한다. 이 장치는 또한 코트 및 개발 프로세스를위한 단일 (single), 양면 (double-sided) 및 딥 스핀 (dip-spin) 과 같은 다양한 스핀 방법을 제공합니다. SEMITOOL 270-F는 다양한 유기 용매와 함께 사용하도록 설계되었으며, 테르펜, 톨루엔 및 이소 프로필 알코올과 같은 비 수용성 용액을 실행할 수 있습니다. 이것들은 photoresist의 최적의 해산을 제공하는 데 사용될 수 있습니다. 챔버 플러싱 (chamber flushing), 화학 연료 스크러버 (chemical fume scrubber) 및 탈진 시스템 (exhauster system) 과 같은 안전 기능은 유해한 증기를 통풍하고 작업 영역의 유해 화학 물질을 최소화하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 270-F는 강력한 온도 조절 (temperature control) 과 다양한 프로세스 옵션을 갖춘 사용하기 쉬운, 완전하게 자동화된 포토리스 처리 장치를 찾는 모든 사람에게 완벽한 솔루션입니다. 안정적인 기판 처리 및 안전 기능을 갖춘 SEMITOOL 270-F 는 사진 분석 프로세스를 위한 비용 효율적이고 효율적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다