판매용 중고 SEMITOOL 270F #151770

SEMITOOL 270F는 주로 반도체 제작에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 도구에는 대류 베이크 모듈과 드라이 스트립 모듈 (dry strip module) 이 포함 된 자체 포함 저항 처리 시스템이 있습니다. 270F의 컨베이어 모듈 (Conveyor Module) 은 단계적으로 웨이퍼를 원활하게 이동시키고 웨이퍼를 수동으로 처리할 필요가 없습니다. 이 모듈은 보안 클램핑 장치 (clamping unit) 를 사용하여 웨이퍼 핸들러 인터페이스 도구에 대한 잠재적 손상을 제거합니다. 베이크 모듈은 2 개의 고온 챔버, 과온 검출기 및 컨베이어 벨트로 구성됩니다. 상하 "오븐 '의 온도는 최적의 처리를 위해 독립적으로 설정, 프로그래밍될 수 있으며, 통합" 온도외 "탐지기는 보안을 보장하고 손상을 방지합니다. SEMITOOL 270F의 드라이 스트립 모듈 (Dry Strip Module) 은 한 번에 최대 19 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 단일 로우 프로파일 카세트로 설계되었습니다. 이 기계는 열악한 화학 환경에 대한 노출 시간을 최소화하면서 고속, 균일, 일관된 스트립 품질을 제공합니다. 스트립 모듈에는 안전 스트립 가스 (Safety Strip Gas) 와 화학 탐지 도구 (Chemical Detection Tool) 가 장착되어 있어 인원과 장비가 과도한 피해를 입지 않도록 보호합니다. 270F 자산은 3 위치 도어 스위치, 프로그래밍 가능한 배기 팬 및 Batch Mate 데이터 획득이 장착 된 Cleanroom 호환 엔클로저에 보관됩니다. 이 모델은 프로세스 레시피를 완벽하게 유연하고, 오프라인으로 프로그래밍하고, 평가할 수 있으며, 고객의 기존 자동화 환경에 통합할 수 있습니다. 또한 SEMITOOL 270F 장비에는 교정, 유지 보수 및 보안을위한 서비스가 내장되어 있습니다. 전반적으로, 270F는 반도체 제조를위한 우수한 포토 esist 및 드라이 스트립 처리를 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 이 장치를 사용하면 프로세스 제어를 향상시키고 프로세스 성능을 향상시켜 생산량, 안정성, 비용 절감 효과를 크게 향상시킬 수 있습니다 (영문).