판매용 중고 SEMITOOL 270 #9036302

SEMITOOL 270은 신뢰할 수있는 PVD (Physical Vapor Deposition) 및 etch 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 집적 회로 제조, MEMS, 나노 기술 및 박막 증착을위한 고급 재료 증착 기능을 제공합니다. 270은 CMP (chemical-mechanical processing) 뿐만 아니라 PVD (physical vapor deposition), etch 및 annealing 프로세스의 최첨단 자동 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 고급 RF 플라즈마 소스, 강력한 로봇 처리 장치, 현장 난방, 통합 전구체 및 강력한 포스트 프로세스 진단이 있습니다. SEMITOOL 270에는 다기능 공정 챔버가 장착되어 있으며, 이는 AL, Cu, TiN 및 ITO와 같은 다양한 재료에서 높은 재료 증착률을 제공 할 수 있습니다. 통합 로봇 처리 기는 단일 및 멀티 턴 모드에서 한 번에 최대 30 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 따라서 툴의 효율성이 높아지고 프로세스 유연성이 높아집니다. 270에는 온도가 낮은 저압 증착이 가능한 강력한 RF 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 이 공정은 알루미늄 기판과 호환되며 고품질 재료 레이어를 달성 할 수 있습니다. 이 옵션은 증착 프로세스의 정확한 제어가 필요한 상황에 적합합니다. SEMITOOL 270의 통합 현장 난방 에셋 (in-situ heating asset) 은 에치 및 증착 과정에서 정확한 온도 제어를 가능하게합니다. 이 모델은 균일 한 온도 분포, 낮은 열 확산, 웨이퍼 전체의 일관된 온도를 제공합니다. 이 기능을 사용하면 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 응용 프로그램에서 재현 가능한 처리와 향상된 반복 가능성을 사용할 수 있습니다. 270에는 통합 전구체가 포함되어 있으며, 이 전구체는 프로세스 챔버에 전구체의 자동 투여 및 저장 기능을 제공합니다. 이 기능은 수동 처리의 필요성을 줄이고 폐기물을 최소화합니다. 이 장비에는 강력한 포스트 프로세스 진단 (post-process diagnostics) 이 장착되어 있어 증착 과정 중과 후에 프로세스 결과를 포괄적으로 분석할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 실행을 통해 레이어 품질이 일관되게 유지됩니다. 결론적으로, SEMITOOL 270은 집적 회로 제조, MEMS, 나노 기술 및 박막 증착의 다양한 응용 분야에 이상적인 강력한 기능과 기능을 제공하는 고급 포토레스 (photoresist) 시스템입니다. 이 장치의 다기능 공정 챔버, 통합 로봇, RF 플라즈마 소스, 인사이트 난방기, 통합 전구체 및 포스트 프로세스 진단이 모두 함께 제공되어 안정적이고 정확하며 균일 한 결과를 제공합니다.