판매용 중고 SEMITOOL 270 #200803

SEMITOOL 270
제조사
SEMITOOL
모델
270
ID: 200803
웨이퍼 크기: 4" or 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4" or 6".
SEMITOOL 270 Photoresist Equipment는 고급 습식 (Wet-Clean) 기술과 고급 LCD 디스플레이를 결합하여 사진 분석 분야에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 "시스템 '은 정밀 한 정확도 와 균일 함 으로 매우 얇은" 포토레지스트' 층 을 처리 하기 위하여 설계 되었으며, 제조업체 는 매우 세밀 한 "라인 '너비 와 특징 크기 로" 웨이퍼' 를 생산 할 수 있다. 270 단위는 습식 클린 (wet-clean) 공정을 중심으로 만들어졌으며, 용매를 사용하여 포토 esist 레이어에서 오염 물질을 부드럽게 용해시킵니다. 이 고효율 기계는 각 연속 사이클 (successive cycle) 사이의 기판을 자동으로 청소하여 포토 esist가 전체 작업 동안 안정적이고 균일하게 유지되도록 합니다. LCD 디스플레이를 사용하면 전체 프로세스 동안 정확한 포토레시스트 두께 (photoresist thickness) 수준을 보고 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 추가 수준의 제어를 수행할 수 있습니다. SEMITOOL 270에는 에지 비드 제거, 에치백 및 노출 후 베이크 개선과 같은 다양한 고급 프로세스도 포함됩니다. 모서리 구슬 제거 (edge bead removal) 는 photoresist와 함께 작업할 때 특히 중요합니다. 기질의 가장자리를 따라 불균일성을 방지하기 때문입니다. 에치백 (Etchback) 은 웨이퍼 상단에서 원치 않는 레이어를 선택적으로 제거하기 위해 수행됩니다. 마지막으로, 노출 후 베이크 단계 (Post-exposure bake phase) 는 포토 esist를 기판에 더 잘 결합시켜 리프트 오프 및 기타 문제를 방지하는 데 사용됩니다. 전반적으로, 270 Photoresist Tool은 쉽고 신뢰할 수있는 석판 처리 방법을 찾는 모든 시설에 적합한 선택입니다. 이 에셋은 사용자에게 포토리스 (photoresist) 두께 수준을 완전히 제어하여 균일성과 정확성을 보장합니다. 고급 프로세스와 LCD 디스플레이 (LCD Display) 를 통해 제조업체는 선폭과 기능 크기가 매우 미세한 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 모델은 또한 비용 효율적이며, 운영 비용이 저렴하고 선행 비용이 저렴합니다.
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