판매용 중고 SEMITOOL 270-ST #293663744

SEMITOOL 270-ST
ID: 293663744
Spin Rinse Dryer (SRD).
SEMITOOL 270-ST (SEMITOOL 270-ST) 는 웨이퍼 표면에 광감수성 광저장제를 침전하도록 설계된 화학 영상 장비입니다. "와퍼 '의 표면 에" 포토레지스트' 를 균일 하고 제어 하는 방식 으로 적용 하기 위하여 "시스템 '은 독특 한 접근 방식 을 이용 한다. 이 장치는 프로그래밍 가능한 선형 단계를 사용하여 이미징 광학 아래의 웨이퍼를 이동합니다. 특허를받은 "버튼 간격 (Button Spacing)" 디자인을 사용하여 270-ST는 매우 미세한 포토 esist 라인을 대상 웨이퍼 표면에 균등하게 분산시킵니다. 이 기계는 독립형 모드에서 사용하거나 SEMI 호환 프로덕션 환경에 통합될 수 있습니다. SEMITOOL 270-ST는 적정 도구를 사용하여 photoresist를 정확하고 일관되게 적용합니다. 이 에셋을 사용하면 사용자의 어플리케이션 요구사항에 맞게 다양한 필름 두께 (film thicknesses) 로 포토레시스트 (photoresist) 를 정확하게 전달할 수 있습니다. 이 모델은 전용 에폭시 기반 시스템, 범용 실리콘 기반 시스템 등 다양한 포토 esist 재료와 호환됩니다. 이 장비는 업계 최고의 성능으로, 광저장술사의 두께를 정확하게 계산하고 정확하게 전달할 수 있습니다. 시스템은 0.5 미터에서 30 센티미터 사이의 다양한 단위로 조정할 수 있습니다. 이 수준의 유연성 (Flexibility) 을 통해 유닛은 모든 범위의 타겟 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 웨이퍼 중심 및 기능 인식 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 피쳐를 사용하면 웨이퍼의 개별 피쳐를 식별할 수 있고, 웨이퍼의 방향을 정확하게 정하고, 원하는 대상 영역에 포토레지스트 (photoresist) 를 정확하게 적용할 수 있습니다. 270-ST (Advanced Misalignment Training) 자산은 또한 포토 Esist 증착의 일관성이 전체 웨이퍼 표면에서 유지되도록 보장합니다. 이 모델은 또한 사용자 정의 (custom) 통합 소프트웨어 툴과 통합되어 기능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. SEMITOOL 270-ST의 성능은 안전 기능으로 더욱 향상되었습니다. 이 장비는 웨이퍼 손상 (wafer damage) 또는 마비 (marrasion) 를 방지하고 유해 화학 물질에 노출 될 수있는 위험을 줄이는 통합 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 결론적으로, 고도로 진보 된 270-ST는 포토 esist를 웨이퍼 표면에 정확하고 균일하게 전달하도록 설계된 업계 최고의 포토 esist 시스템입니다. 특허를받은 "버튼 간격 (Button Spacing)" 기술을 사용하여이 장치는 0.5m에서 30m까지의 범위에서 포토 esist를 적용 할 수 있습니다. 이 제품은 정확하고 일관된 증착을 위해 자동 웨이퍼 중심 및 인식 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 통합 안전 (Integrated Safety) 기능과 다양한 맞춤형 소프트웨어 툴을 갖추고 있어 성능을 더욱 향상시킵니다.
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