판매용 중고 SEMITOOL 260F #151781

SEMITOOL 260F
제조사
SEMITOOL
모델
260F
ID: 151781
웨이퍼 크기: Up to 5"
Spin rinse dryer, up to 5".
SEMITOOL 260F 포토 esist 장비는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 최첨단 통합 스핀 코터/개발자입니다. 최대 8 인치 직경 기판을 수용 할 수있는 회전 가능하고 개폐식 챔버가 특징입니다. 260F는 조절 가능한 속도와 토크를 갖춘 스핀 모터 (spin motor) 를 내장하여 스핀 코팅 프로세스를 정확하게 제어합니다. 시스템은 개발자의 시간, 온도, 속도 및 스프레이 압력에 대한 정확한 제어를 사용합니다. 온도 조절은 정확한 Pico-Temperature Control ™ 에 의해 조절됩니다. SEMITOOL 260F의 챔버 설계에는 자동 리프트 장치 (automated lift unit) 가 포함되어 있으며, 대규모 배치에서 여러 기판을 회전 코팅하고 빠르고 효율적으로 개발할 수 있습니다. 기계는 공랭식 배기 포트를 장착하여 모든 연기를 효율적으로 정리합니다. 260F 포토리스 (photoresist) 도구는 내장, 직접 구동 브러시리스 모터로 구동되며, 각 응용 프로그램에 최적의 토크와 속도를 제공합니다. 스핀 코팅 성능은 고급 2 단계 리프팅 에셋으로 향상되어 스핀 코팅 프로세스 동안 저항의 습식, 평준화 및 압착을 최적으로 제어 할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 스프레이 기술과 개발자 화학 물질의 정확한 배포가 있습니다. 압력은 기판, 저항, 계층 별 프로세스에 맞게 필요에 따라 높이거나 낮출 수 있도록 정확하게 모니터링됩니다. SEMITOOL 260F에는 고해상도 16 인치 (16 인치) LCD 디스플레이 및 컨트롤러 패널이 장착되어 있어 사용자에게 프로세스 상태에 대한 시각적 피드백을 제공합니다. 이 장비에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 여러 내장 편의성 기능이 있어 사용이 쉽고 직관적입니다. 260F 포토레스 시스템 (photoresist system) 은 반도체 산업의 스핀 코팅 및 개발 응용 분야를위한 최첨단 솔루션입니다. 정밀하고 자동화된 스핀 코팅 (spin-coating), 온도 조절 (temperature control) 및 높은 수준의 안전 (safety) 을 위한 포괄적인 솔루션으로 다양한 포토레지스트 프로세스에 이상적입니다. 고급 2 단계 리프트 장치 및 자동 스프레이 (automated spray) 기술은 스핀 코팅 및 개발 작업에서 최고의 제어 및 정밀도를 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다