판매용 중고 SEMITOOL 260 #82968

SEMITOOL 260은 반도체 장치를 생산하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 최고 수준의 정밀도와 안정성을 제공하는 고급 (Advanced) 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 최고의 정밀 포토 esist 디스펜싱 (photoresist dispensing) 과 코팅, 패턴 및 검사를 결합하여 최고 품질의 장치 제조를 제공합니다. 260에는 포토 esist 응용 프로그램을위한 최첨단 자동 프로세스가 있습니다. 고해상도 분배 및 코팅 헤드는 5 ~ 50 미크론 크기의 노즐을 특징으로하며, 포토 esist를 정확하고 효율적으로 적용 할 수 있습니다. 기계 의 "노즐 '배열 은" 패터닝' 과정 에서 최소화 된 물질 불균형 과 우수 한 형태 의 형성 을 보장 해 주며, 그 결과 수율 은 더 높아진다. SEMITOOL 260에는 정확한 패턴 전송을위한 고해상도 패턴화 도구가 포함되어 있습니다. 이 자산은 넓은 패턴 패라메트릭 창, 고속 패턴 및 통합 프로그래밍 가능한 패턴 레이아웃을 자랑합니다. 강력한 전동 정렬 및 위치 지정 기능을 통해 패턴 제어와 패턴 배치 정밀도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 자동 레이저 스캐너 구성은 정확한 웨이퍼 및 다이 정렬을 제공하면서 뛰어난 정확도, 반복 가능성, 신뢰성을 제공합니다. 260의 또 다른 주요 기능은 품질 검사 모델입니다. 이 장비에는 최고 수준의 장치 품질을 보장하기 위해 고해상도 CCD 카메라, 레이저 스캐너, 3D 토폴로지 프로파일링 현미경 등 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 3D 지형 매핑 기능과 다중 센서 자동 수정 (Multi-Sensor Auto-Correction) 기능을 갖춘 통합 측정 소프트웨어는 추적 가능한 결과와 함께 정확하고 반복 가능한 프로세스 제어를 지원합니다. 또한 SEMITOOL 260은 프로세스 모듈의 유연성과 사용자 친화적 인 레시피 설정 및 제어를 통해 유연한 처리 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 빠른 웨이퍼 로딩, 웨이퍼 수요 기반 로딩, 고용량 챔버 로딩 등의 기능을 통해 효율성과 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 전체 260은 안정적이고 효율적인 유닛으로, 정확하고 반복 가능한 포토레지스트 (photoresist) 응용 프로그램, 패턴화 및 검사를 제공하여 최고 품질의 장치 제조에 적합합니다.