판매용 중고 SEMITOOL 260 #82966
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SEMITOOL 260은 SEMITOOL, Inc.의 포토 esist 장비로, 집적 회로 개발을위한 아트 도구의 상태입니다. 실리콘의 저항 계층 및 하이브리드 마이크로 서킷, 반도체 장치 제작, 박막 증착/에칭/포토 리토 그래피 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치 프로세스와 같은 응용 프로그램의 장치 구조를 처리하기위한 플랫폼입니다. 260은 다용도 플랫폼으로, 다양한 구성 요소 (component) 와 업그레이드 (upgrade) 를 사용하여 구성하여 사용자의 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. Ar, CF4, O2, SF6 및 N2를 포함한 다양한 공정 가스와 호환성을 제공하는 친밀하고 환경 친화적 인 챔버 주위에 구축되었습니다. 모든 프로세스 매개변수는 디지털 컨트롤러 (digital controller) 를 통해 프로그래밍 및 모니터링할 수 있으며, 챔버 환경은 정교한 PID 컨트롤러를 사용하여 정확한 온도 및 압력 수준을 유지합니다. SEMITOOL 260에는 고급 저항 분배 시스템과 박막 증착 기능도 있습니다. 저항 분배 장치 (Resist Dispense Unit) 는 다양한 두께와 특정 모양으로 포토 esist 물질을 정확하게 전달 할 수 있습니다. 박막 증착기 (Thin film deposition machine) 는 다양한 두께와 특징 크기로 다양한 박막을 증착 할 수 있습니다. 박막 증착 챔버 (Thin film deposition chamber) 는 특정 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 고분자, 금속 및 유전체를위한 다양한 세라믹 타겟으로 구성 될 수 있습니다. 260에는 전동 웨이퍼 지그 (motorized wafer jig) 및 자동 웨이퍼 처리 도구 (automated wafer handling tool) 와 같은 다양한 프로세스 지원 도구가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 지그 (wafer jig) 는 처리 중 웨이퍼를 정확하게 조작하고 웨이퍼 등록을 정확하게 조정 할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 처리 자산은 사이클 당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 정확한 온도 조절 전송 스테이션 (transfer station) 을 갖추고 있습니다. SEMITOOL 260은 UL에 등재되어 있으며 해당되는 모든 산업 및 안전 표준을 준수합니다. 모듈 식 구조 설계를 통해 간단한 설치 및 사용이 가능합니다. 이 장치는 PC 및 PLC 호환이며 설치 및 작동을 단순화하는 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 또한 사용자는 프로세스를 빠르고 효율적으로 테스트, 분석, 최적화할 수 있습니다.
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