판매용 중고 SEMITOOL 240S #85326

SEMITOOL 240S
제조사
SEMITOOL
모델
240S
ID: 85326
웨이퍼 크기: Up to 4"
Spin rinse dryer, up to 4".
SEMITOOL 240S는 우수한 균일성, 수동화 및 접촉 도량형 프로세스를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 일관되고 안정적인 포토 esist 처리를 보장하기 위해 특허받은 기술이 특징입니다. 이 시스템에는 통합 안전 기능이 포함 된 습식 벤치가 있습니다. 웨이퍼 평탄성과 반복 성을 유지하는 독특한 웨이퍼 전송 장치를 사용합니다. 프로세서는 오염 없는 환경과 함께 고급 스프레이 노즐, 샘플 홀더, 딥 컵 (dip cup) 디자인을 사용하여 정확한 저항 코팅을 보장합니다. 포토레스 프로세서 (photoresist processor) 는 또한 자동 저항 충전 기계 및 온도 조절 침수 프로세스를 특징으로하여 최적의 결과를 보장합니다. 이 도구에는 특허를받은 이중 챔버 스피너가있는 Spincoater도 포함되어 있습니다. 포토 esist의 균일 한 적용을위한 전용 스프레이 챔버가 있습니다. 이렇게 하면 저항 두께, 회전 속도, 회전 수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 자산은 또한 화학 부식 또는 산화로부터 노출 된 웨이퍼를 보호하기 위해 수동화 챔버를 특징으로합니다. Spincoater 외에도 240S에는 저항 패턴 균일성 및 접촉 저항성을 측정하기위한 CMS (Contact Metrology Model) 도 포함되어 있습니다. 이 장비는 eddy current technology, measurement head 및 patented dual-range current sensor의 조합을 사용하여 정확하고 정확한 측정을 제공합니다. 전반적으로 SEMITOOL 240S는 웨이퍼 처리에서 정확하고 고품질 결과를 얻기 위해 이상적인 포토 esist 시스템입니다. 고급 기능은 균일 한 저항 범위, 정확한 접촉 도량형 및 노출 된 웨이퍼의 신뢰할 수있는 수동화를 허용합니다. 또한 완벽한 자동화 및 온도 조절 프로세스를 제공하여 일관된 결과를 보장합니다.
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