판매용 중고 SEMITOOL 240F #9283685

SEMITOOL 240F
제조사
SEMITOOL
모델
240F
ID: 9283685
Spin dryer.
세미 툴 240F (SEMITOOL 240F) 는 박막 층을 반도체 웨이퍼로 증착시키기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 고급 기능을 통해 박막 레이어를 매우 정밀하고 정확하게 배치할 수 있습니다 (영문). 이 시스템은 진공 챔버, 스퍼터 소스, 절연 챔버, 포토 esist 레이어 등 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 진공실은 저압 환경 (low-pressure environment) 을 만들어 배경을 줄이고 열 산화를 억제하는 데 사용됩니다. 그런 다음 스퍼터 소스 (sputter source) 는 진공 챔버 내에 포함되어 있으며, 미디어 박막 레이어를 웨이퍼 표면에 배치 할 수 있습니다. 인슐레이션 챔버 (insulation chamber) 는 기질과 반응 챔버 가스 사이의 필요한 균형을 유지하기 위해 사용되며 웨이퍼 (wafer) 위에 균일 한 코팅을 만드는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 포토레시스트 (photoresist) 레이어는 가상 필름 레이어를 환경으로부터 보호하고 에칭 프로세스 동안 웨이퍼에 고정되도록 도와줍니다. 또한 240F에는 정확한 프로세스 제어 및 모니터링을 지원하도록 설계된 여러 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 프로세스 균일성을 유지하기 위해 실시간 시각적 피드백이 포함되어 있습니다. 또한, 이중 로드 암과 최적화된 프로세스 라인 길이에 의해 처리량 시간이 향상됩니다. 즉, 생산성 향상과 비용 절감을 의미합니다. 또한 통합 AutoSave 소프트웨어 제품군은 레시피 개발 및 프로세스 제어를 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 전반적으로, SEMITOOL 240F는 고급 포토레지스트 머신 (photoresist machine) 으로, 고급 기능을 사용하여 박막 레이어를 반도체 웨이퍼에 증착시키는 동안 정밀하고 정확성을 제공합니다. 정교한 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 비용 및 시간을 최소화하여 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. "240F '는 박막 계층의 신뢰성과 고품질 증착이 필요한 업계에 이상적인 솔루션입니다.
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